| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 课题背景、课题来源以及研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第7页 |
| 1.1.2 课题来源 | 第7-8页 |
| 1.1.3 研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第8-9页 |
| 1.2.1 国外洁净室的发展现状 | 第8-9页 |
| 1.2.2 国内洁净室的发展现状 | 第9页 |
| 1.3 研究的方法与内容 | 第9-11页 |
| 第二章 洁净室的空气流动原理与仿真方法 | 第11-20页 |
| 2.1 洁净室的气流分布 | 第11-12页 |
| 2.2 压片房间的换气次数、压差与温湿度要求 | 第12页 |
| 2.3 气流流动的特性 | 第12-13页 |
| 2.4 气流流动的控制方程 | 第13-15页 |
| 2.4.1 连续性方程 | 第13页 |
| 2.4.2 N-S方程 | 第13-15页 |
| 2.5 程序模拟流程图 | 第15页 |
| 2.6 FLUENT程序求解问题的步骤 | 第15-16页 |
| 2.7 FLUENT程序求解方法的选择与边界条件的确定 | 第16页 |
| 2.8 微粒在室内的运动 | 第16-20页 |
| 2.8.1 作用在微粒上的力 | 第16-17页 |
| 2.8.2 微粒的重力沉降 | 第17页 |
| 2.8.3 微粒在惯性力作用下的运动 | 第17-18页 |
| 2.8.4 微粒的扩散运动 | 第18页 |
| 2.8.5 气流对微粒运动的影响 | 第18-20页 |
| 第三章 房间气流组织的模拟及实验 | 第20-35页 |
| 3.1 物理模型的简化 | 第20页 |
| 3.2 房间气流的模拟 | 第20-29页 |
| 3.2.1 忽略粉尘影响的气流模拟 | 第21-26页 |
| 3.2.2 考虑粉尘影响的气流模拟 | 第26-29页 |
| 3.3 模拟房间的实际断面风速 | 第29-32页 |
| 3.4 回风口断面速度图 | 第32-33页 |
| 3.5 距离回风口位置速度表 | 第33-35页 |
| 第四章 除尘系统的气流组织模拟及实验 | 第35-48页 |
| 4.1 集气罩的集气原理 | 第35页 |
| 4.1.1 吸入气流 | 第35页 |
| 4.1.2 吹出气流(射流) | 第35页 |
| 4.2 集气罩的性能参数及计算 | 第35-37页 |
| 4.3 集气罩的数学模型及模拟 | 第37-41页 |
| 4.3.1 忽略粉尘影响的气流模拟 | 第38-40页 |
| 4.3.2 考虑粉尘影响的气流模拟 | 第40-41页 |
| 4.4 粉尘在集气罩里的运动轨迹 | 第41-42页 |
| 4.5 房间加集气罩的数学模型及气流模拟 | 第42-45页 |
| 4.6 集气罩的捕集性能实验 | 第45-48页 |
| 第五章 除尘系统的优化研究 | 第48-60页 |
| 5.1 侧送侧回式6个送风口 | 第48-53页 |
| 5.1.1 无集气罩有粉尘形式 | 第48-51页 |
| 5.1.2 有集气罩有粉尘形式 | 第51-53页 |
| 5.2 侧送侧回4送风口 | 第53-56页 |
| 5.2.1 无集气罩有粉尘形式 | 第53-55页 |
| 5.2.2 有集气罩有粉尘形式 | 第55-56页 |
| 5.3 上送侧回式2倍集气罩 | 第56-57页 |
| 5.4 上送侧回式2倍距离 | 第57-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 研究总结 | 第60-61页 |
| 6.2 研究展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第65页 |