| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第19-38页 |
| 1.1 研究背景 | 第19-22页 |
| 1.1.1 表面织构的背景 | 第19-22页 |
| 1.1.2 表面织构的提出 | 第22页 |
| 1.2 表面织构的应用现状 | 第22-27页 |
| 1.2.1 表面织构在动密封部件的应用 | 第22-23页 |
| 1.2.2 表面织构在摩擦磨损方面的应用 | 第23-25页 |
| 1.2.3 表面织构在热能交换方面的应用 | 第25-26页 |
| 1.2.4 表面织构在生物医学方面的应用 | 第26-27页 |
| 1.3 表面织构加工技术的发展现状 | 第27-35页 |
| 1.3.1 表面织构压印加工技术 | 第27页 |
| 1.3.2 表面织构机械振动加工技术 | 第27-28页 |
| 1.3.3 表面织构磨粒喷射加工技术 | 第28-29页 |
| 1.3.4 表面织构激光加工技术 | 第29-30页 |
| 1.3.5 表面织构电火花加工技术 | 第30-31页 |
| 1.3.6 表面织构电解加工技术 | 第31-35页 |
| 1.4 课题来源以及研究内容 | 第35-38页 |
| 1.4.1 课题来源和研究目的 | 第35-36页 |
| 1.4.2 课题研究内容 | 第36-38页 |
| 第二章 独立微电解池电解加工微坑阵列仿真分析及试验准备 | 第38-65页 |
| 2.1 引言 | 第38页 |
| 2.2 独立微电解池电解加工微坑阵列技术 | 第38-46页 |
| 2.2.1 光刻电解加工技术分析 | 第38-39页 |
| 2.2.2 独立微电解池电解加工微坑阵列方法的提出 | 第39-40页 |
| 2.2.3 电解加工电场仿真分析 | 第40-46页 |
| 2.3 独立微电解池电解加工过程理论分析 | 第46-50页 |
| 2.4 独立微电解池电解加工单元 | 第50-53页 |
| 2.4.1 电解加工电源及电流信号采集装置 | 第51-52页 |
| 2.4.2 电解液循环系统 | 第52页 |
| 2.4.3 工装夹具的设计 | 第52-53页 |
| 2.5 干膜模板微通孔制备方法研究 | 第53-62页 |
| 2.5.1 干膜模板微通孔制备流程 | 第53-54页 |
| 2.5.2 干膜贴膜参数的研究 | 第54-56页 |
| 2.5.3 干膜模板曝光参数的研究 | 第56-59页 |
| 2.5.4 干膜模板显影参数的研究 | 第59-61页 |
| 2.5.5 优选参数制备不同镂空图案的微通孔干膜模板 | 第61-62页 |
| 2.6 独立微电解池电解加工与光刻电解加工微坑阵列对比试验 | 第62-63页 |
| 2.7 本章小结 | 第63-65页 |
| 第三章 独立微电解池电解加工微坑阵列试验研究 | 第65-84页 |
| 3.1 独立微电解池电解加工CCD在线观测 | 第65-68页 |
| 3.2 50 ~200μm模板厚度下加工时间对微坑尺寸的影响 | 第68-72页 |
| 3.3 50 ~200μm模板厚度下加工电压对微坑尺寸的影响 | 第72-76页 |
| 3.4 独立微电解池多次电解加工微坑阵列试验研究 | 第76-82页 |
| 3.4.1 电解加工次数对微坑尺寸的影响 | 第77-79页 |
| 3.4.2 加工电压对微坑尺寸的影响 | 第79-82页 |
| 3.4.3 独立微电解池多次电解加工与光刻电解加工微坑阵列对比试验 | 第82页 |
| 3.5 本章小结 | 第82-84页 |
| 第四章 多孔金属工具阴极电解加工微坑阵列试验研究 | 第84-111页 |
| 4.1 多孔金属工具阴极电解加工微坑阵列方法的提出 | 第84-85页 |
| 4.2 浸没式电解加工微坑阵列试验研究 | 第85-96页 |
| 4.2.1 直流电解加工微坑阵列 | 第85-92页 |
| 4.2.2 脉冲电解加工微坑阵列 | 第92-96页 |
| 4.3 冲液式电解加工微坑阵列试验研究 | 第96-108页 |
| 4.3.1 电解液正向冲液加工微坑阵列 | 第96-99页 |
| 4.3.2 电解液侧向冲液加工微坑阵列 | 第99-108页 |
| 4.4 独立微电解池与多孔金属工具阴极电解加工对比 | 第108-110页 |
| 4.5 本章小结 | 第110-111页 |
| 第五章 磷青铜及球墨铸铁微坑阵列的加工 | 第111-124页 |
| 5.1 引言 | 第111-112页 |
| 5.2 磷青铜表面微坑阵列加工试验研究 | 第112-117页 |
| 5.2.1 脉冲占空比和脉冲频率试验研究 | 第112-114页 |
| 5.2.2 脉冲加工电压和有效加工时间试验研究 | 第114-117页 |
| 5.3 球墨铸铁回转体曲面微坑阵列加工试验 | 第117-120页 |
| 5.4 正方形、椭圆形微坑阵列加工 | 第120-122页 |
| 5.5 本章小结 | 第122-124页 |
| 第六章 总结与展望 | 第124-126页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第124-125页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第125页 |
| 6.3 未来研究展望 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 在学期间发表学术论文及研究成果 | 第138-139页 |
