定向凝固提纯多晶硅研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
1 绪论 | 第9-29页 |
·立题背景 | 第9-10页 |
·冶金法制备太阳能级多晶硅工艺 | 第10-18页 |
·冶金法概述 | 第10-15页 |
·冶金法技术路线 | 第15-18页 |
·多晶硅中的杂质 | 第18-22页 |
·工业硅中杂质来源 | 第18-19页 |
·硅中杂质存在状态 | 第19-21页 |
·杂质对太阳能电池性能的影响 | 第21-22页 |
·多晶硅定向凝固主要方法 | 第22-27页 |
·浇铸法 | 第22-23页 |
·布里奇曼法 | 第23-24页 |
·定向凝固系统法 | 第24-25页 |
·热交换法 | 第25-26页 |
·电磁铸锭法 | 第26-27页 |
·本文研究的目的及主要内容 | 第27-29页 |
2 实验原理与实验方法 | 第29-38页 |
·定向凝固过程的理论基础 | 第29-36页 |
·凝固过程中的传热 | 第29-32页 |
·凝固过程中的传质 | 第32-34页 |
·固液界面的形态选择 | 第34-36页 |
·实验方法 | 第36-38页 |
·实验设备 | 第36-37页 |
·实验方案 | 第37-38页 |
3 冶金级硅定向凝固铸锭电阻率分布规律研究 | 第38-46页 |
·概述 | 第38页 |
·实验方法 | 第38-40页 |
·实验结果与讨论 | 第40-45页 |
·多晶硅铸锭的电阻率分布 | 第40-43页 |
·杂质对电阻率分布的影响 | 第43-45页 |
·本章小结 | 第45-46页 |
4 多晶硅定向凝固过程中固液界面特性研究 | 第46-55页 |
·概述 | 第46-47页 |
·实验方法 | 第47页 |
·实验结果与讨论 | 第47-54页 |
·固液界面分析 | 第47-52页 |
·拉锭速度对固液界面曲率的影响 | 第52-53页 |
·固液界面对杂质分布的影响 | 第53-54页 |
·本章小结 | 第54-55页 |
5 定向凝固去除硅中杂质研究 | 第55-68页 |
·概述 | 第55页 |
·实验方法 | 第55-57页 |
·实验结果与讨论 | 第57-67页 |
·初始杂质浓度对提纯效果的影响 | 第57-60页 |
·生长速度对提纯效果的影响 | 第60-62页 |
·温度梯度对提纯效果的影响 | 第62-67页 |
·本章小结 | 第67-68页 |
结论 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-75页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
致谢 | 第76-78页 |