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定向凝固提纯多晶硅研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-29页
   ·立题背景第9-10页
   ·冶金法制备太阳能级多晶硅工艺第10-18页
     ·冶金法概述第10-15页
     ·冶金法技术路线第15-18页
   ·多晶硅中的杂质第18-22页
     ·工业硅中杂质来源第18-19页
     ·硅中杂质存在状态第19-21页
     ·杂质对太阳能电池性能的影响第21-22页
   ·多晶硅定向凝固主要方法第22-27页
     ·浇铸法第22-23页
     ·布里奇曼法第23-24页
     ·定向凝固系统法第24-25页
     ·热交换法第25-26页
     ·电磁铸锭法第26-27页
   ·本文研究的目的及主要内容第27-29页
2 实验原理与实验方法第29-38页
   ·定向凝固过程的理论基础第29-36页
     ·凝固过程中的传热第29-32页
     ·凝固过程中的传质第32-34页
     ·固液界面的形态选择第34-36页
   ·实验方法第36-38页
     ·实验设备第36-37页
     ·实验方案第37-38页
3 冶金级硅定向凝固铸锭电阻率分布规律研究第38-46页
   ·概述第38页
   ·实验方法第38-40页
   ·实验结果与讨论第40-45页
     ·多晶硅铸锭的电阻率分布第40-43页
     ·杂质对电阻率分布的影响第43-45页
   ·本章小结第45-46页
4 多晶硅定向凝固过程中固液界面特性研究第46-55页
   ·概述第46-47页
   ·实验方法第47页
   ·实验结果与讨论第47-54页
     ·固液界面分析第47-52页
     ·拉锭速度对固液界面曲率的影响第52-53页
     ·固液界面对杂质分布的影响第53-54页
   ·本章小结第54-55页
5 定向凝固去除硅中杂质研究第55-68页
   ·概述第55页
   ·实验方法第55-57页
   ·实验结果与讨论第57-67页
     ·初始杂质浓度对提纯效果的影响第57-60页
     ·生长速度对提纯效果的影响第60-62页
     ·温度梯度对提纯效果的影响第62-67页
   ·本章小结第67-68页
结论第68-69页
参考文献第69-75页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第75-76页
致谢第76-78页

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