| 中文摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 本课题研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 光片产生原理及变焦系统分析 | 第17-27页 |
| 2.1 光源的选择 | 第17页 |
| 2.2 片状光的理论计算 | 第17-20页 |
| 2.2.1 激光光束传输特性 | 第17-19页 |
| 2.2.2 光片性质的理论推导 | 第19-20页 |
| 2.3 变焦系统原理和方法 | 第20-22页 |
| 2.4 变焦系统分类 | 第22-26页 |
| 2.4.1 四组元正组补偿机械变焦系统 | 第23-25页 |
| 2.4.2 四组元负组补偿机械变焦系统 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 可变光片照明系统初始结构设计 | 第27-38页 |
| 3.1 基于10倍变倍扩束系统的可变光片照明系统设计 | 第27-34页 |
| 3.1.1 激光光源的选择 | 第27-28页 |
| 3.1.2 10倍变倍扩束系统的设计 | 第28-29页 |
| 3.1.3 初始结构确定方法 | 第29-31页 |
| 3.1.4 柱透镜的选择 | 第31-32页 |
| 3.1.5 照明物镜的选择 | 第32-33页 |
| 3.1.6 组合系统 | 第33-34页 |
| 3.2 基于5倍变焦照明物镜的可变光片照明系统的设计 | 第34-36页 |
| 3.2.1 5倍变焦照明物镜的设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 10倍扩束镜的设计 | 第35-36页 |
| 3.2.3 系统组合 | 第36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 可变光片照明系统的优化及分析 | 第38-59页 |
| 4.1 基于10倍无焦变倍扩束系统的可变光片照明系统的优化 | 第38-54页 |
| 4.1.1 10倍无焦变倍扩束系统的优化设计 | 第38-42页 |
| 4.1.2 系统变焦补偿曲线 | 第42-43页 |
| 4.1.3 柱透镜和照明物镜设计 | 第43-44页 |
| 4.1.4 组合系统的优化 | 第44-47页 |
| 4.1.5 光片的参数分析 | 第47-48页 |
| 4.1.6 光片均匀性分析 | 第48-52页 |
| 4.1.7 非序列模拟分析 | 第52-54页 |
| 4.2 基于5倍变焦物镜可变光片照明系统的优化 | 第54-58页 |
| 4.2.1 5倍变焦物镜系统优化设计 | 第54-56页 |
| 4.2.2 系统变焦补偿曲线 | 第56-57页 |
| 4.2.3 组合系统的优化 | 第57-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 可变光片照明系统的公差制定与分析 | 第59-63页 |
| 5.1 光学系统公差分析的制定原则 | 第59页 |
| 5.2 基于10倍扩束系统的可变光片照明系统的公差分析 | 第59-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-66页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及申请的专利 | 第69页 |
| 攻读学位期间参加的学术会议 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
