有机电致发光器件电极的制备及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 有机电致发光器件的研究意义及进展 | 第8-9页 |
| 1.2.1 研究意义 | 第8页 |
| 1.2.2 研究进展 | 第8-9页 |
| 1.3 有机电致发光原理 | 第9-10页 |
| 1.4 本论文研究目的及意义 | 第10-12页 |
| 第二章 电极薄膜的制备原理及表征方法 | 第12-20页 |
| 2.1 引言 | 第12-13页 |
| 2.2 氧化物薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 2.3 磁控溅射技术 | 第15-17页 |
| 2.3.1 磁控溅射工作原理 | 第15-16页 |
| 2.3.2 本实验设备介绍 | 第16-17页 |
| 2.4 测试表征方法 | 第17-20页 |
| 2.4.1 紫外可见光分光光度仪 | 第17页 |
| 2.4.2 四探针电阻仪 | 第17-18页 |
| 2.4.3 X射线衍射仪 | 第18-19页 |
| 2.4.4 扫描电子显微镜 | 第19页 |
| 2.4.5 台阶仪 | 第19-20页 |
| 第三章 氧化铟锡薄膜的制备及表征 | 第20-28页 |
| 3.1 薄膜沉积速率研究 | 第20-22页 |
| 3.2 温度对氧化铟锡薄膜的影响 | 第22-25页 |
| 3.3 氧分压对薄膜性能影响 | 第25-27页 |
| 3.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 掺杂对氧化铟锡薄膜的影响 | 第28-41页 |
| 4.1 引言 | 第28页 |
| 4.2 掺杂ITO薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 4.3 晶体结构分析 | 第29-33页 |
| 4.4 光学性质分析 | 第33-38页 |
| 4.5 电学性质分析 | 第38-39页 |
| 4.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 第五章 结论与展望 | 第41-43页 |
| 5.1 主要结论 | 第41页 |
| 5.2 展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-49页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第49-50页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第50-51页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |
