| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 文献综述 | 第9-25页 |
| 1.1 抛光粉的简介 | 第9-11页 |
| 1.1.1 抛光粉的组成 | 第9-10页 |
| 1.1.2 抛光粉的发展 | 第10页 |
| 1.1.3 抛光粉的分类 | 第10-11页 |
| 1.2 稀土抛光粉的现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 稀土抛光粉的国内外现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 稀土抛光粉的应用现状 | 第13-14页 |
| 1.3 抛光粉的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.4 抛光粉的性能研究 | 第15-19页 |
| 1.4.1 影响抛光粉性能的因素 | 第16-19页 |
| 1.4.2 抛光粉的性能表征 | 第19页 |
| 1.5 抛光粉的抛光研究 | 第19-23页 |
| 1.5.1 抛光粉的抛光机理 | 第20-21页 |
| 1.5.2 抛光粉抛光效果的表征 | 第21-22页 |
| 1.5.3 SiO_2-CeO_2复合抛光粉的相关研究 | 第22-23页 |
| 1.6 选题的目的和意义 | 第23-25页 |
| 2 喷雾干燥法制备 CeO_2-SiO_2复合抛光粉 | 第25-36页 |
| 2.1 不同配分 CeO_2-SiO_2复合抛光粉的制备 | 第25-28页 |
| 2.1.1 实验步骤及设备 | 第25-27页 |
| 2.1.2 复合抛光粉的测试方法及设备 | 第27-28页 |
| 2.2 不同配分抛光粉的 XRD 分析 | 第28-29页 |
| 2.3 复合抛光粉 SEM 和粒度表征 | 第29-32页 |
| 2.4 硅的掺杂量对复合抛光粉密度的影响 | 第32页 |
| 2.5 Zeta 电位分析 | 第32-33页 |
| 2.6 抛光试验分析 | 第33-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 制备条件对 CeO_2-SiO_2复合抛光粉性能的影响 | 第36-49页 |
| 3.1 复合抛光粉的制备 | 第36-38页 |
| 3.2 空气流量对抛光粉前驱体形貌和粒度的影响 | 第38-40页 |
| 3.3 复合抛光粉前驱体的 DSC-TG 分析 | 第40-41页 |
| 3.4 煅烧条件对复合抛光粉形貌和粒度的影响 | 第41-44页 |
| 3.4.1 煅烧制度的确定 | 第41页 |
| 3.4.2 煅烧温度对复合抛光粉形貌和粒度的影响 | 第41-43页 |
| 3.4.3 保温时间对复合抛光粉形貌和粒度的影响 | 第43-44页 |
| 3.5 保温时间对复合抛光粉密度的影响 | 第44-45页 |
| 3.6 Zeta 电位分析 | 第45-46页 |
| 3.7 抛光试验分析 | 第46-48页 |
| 3.8 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 氟对 CeO_2-SiO_2复合抛光粉性能的影响 | 第49-61页 |
| 4.1 含氟复合稀土抛光粉的制备 | 第49-52页 |
| 4.2 不同掺氟量抛光粉的物相分析 | 第52-54页 |
| 4.3 氟的掺杂量对抛光粉 SEM 和粒度的影响 | 第54-56页 |
| 4.4 氟的掺杂量对抛光粉密度的影响 | 第56-57页 |
| 4.5 Zeta 电位分析 | 第57页 |
| 4.6 抛光试验分析 | 第57-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 在学研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
