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负压缩性抛光装置设计及试验研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-23页
    1.1 课题概述第11-12页
        1.1.1 课题来源第11页
        1.1.2 课题研究背景及意义第11-12页
    1.2 现代抛光技术的国内外研究现状和关键问题第12-16页
        1.2.1 现代抛光技术的国内外研究现状第12-16页
        1.2.2 现代抛光技术存在的关键性问题第16页
    1.3 负压缩性的国内外研究现状第16-20页
        1.3.1 负压缩性的概念第16-17页
        1.3.2 负压缩性的国内外研究现状第17-19页
        1.3.3 负压缩性的应用第19-20页
    1.4 本文的主要研究内容第20-23页
第2章 负压缩性抛光装置的设计与测试第23-41页
    2.1 抛光理论基础第23-25页
        2.1.1 Preston假设第23-24页
        2.1.2 负压缩性抛光原理第24-25页
    2.2 负压缩性抛光装置的设计第25-32页
        2.2.1 负压缩性抛光装置的构型第25-26页
        2.2.2 负压缩性结构单元的选取与分析第26-32页
    2.3 负压缩性抛光装置的静力学仿真分析与优化第32-37页
        2.3.1 负压缩性抛光装置的仿真验证第32-33页
        2.3.2 负压缩性抛光装置的参数优化第33-37页
    2.4 抛光装置的负压缩性测试第37-39页
    2.5 本章小结第39-41页
第3章 去除函数建模与试验验证第41-53页
    3.1 去除函数模型的建立第41-45页
        3.1.1 抛光接触区域压强分布模型第41页
        3.1.2 抛光接触区域速度分布模型第41-43页
        3.1.3 去除函数模型第43-44页
        3.1.4 比例系数k的确定方法第44-45页
    3.2 边缘去除函数模型的建立第45-47页
    3.3 去除函数模型的试验验证第47-51页
        3.3.1 仿真结果与试验验证第47-50页
        3.3.2 比例系数k的确定第50-51页
    3.4 本章小结第51-53页
第4章 抛光试验与结果分析第53-73页
    4.1 试验条件第53-56页
        4.1.1 试验设备和检测系统第53-55页
        4.1.2 工件材料的选取第55页
        4.1.3 抛光工具及抛光剂的选取第55-56页
    4.2 抛光工艺参数对工件表面粗糙度的影响第56-60页
        4.2.1 正交试验设计第56-57页
        4.2.2 试验结果及分析第57-60页
    4.3 抛光工艺参数对材料去除效率的影响第60-64页
        4.3.1 正交试验设计第61页
        4.3.2 试验结果及分析第61-64页
        4.3.3 抛光工艺参数综合优选第64页
    4.4 负压缩性的抛光试验研究第64-71页
        4.4.1 抛光轨迹的选择第64-67页
        4.4.2 负压缩性的抛光对比试验第67-69页
        4.4.3 抛光时间对负压缩性抛光的影响第69-71页
    4.5 本章小结第71-73页
第5章 全文总结与展望第73-75页
    5.1 全文总结第73-74页
    5.2 展望第74-75页
参考文献第75-83页
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果第83-85页
致谢第85页

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