负压缩性抛光装置设计及试验研究
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第11-23页 |
1.1 课题概述 | 第11-12页 |
1.1.1 课题来源 | 第11页 |
1.1.2 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
1.2 现代抛光技术的国内外研究现状和关键问题 | 第12-16页 |
1.2.1 现代抛光技术的国内外研究现状 | 第12-16页 |
1.2.2 现代抛光技术存在的关键性问题 | 第16页 |
1.3 负压缩性的国内外研究现状 | 第16-20页 |
1.3.1 负压缩性的概念 | 第16-17页 |
1.3.2 负压缩性的国内外研究现状 | 第17-19页 |
1.3.3 负压缩性的应用 | 第19-20页 |
1.4 本文的主要研究内容 | 第20-23页 |
第2章 负压缩性抛光装置的设计与测试 | 第23-41页 |
2.1 抛光理论基础 | 第23-25页 |
2.1.1 Preston假设 | 第23-24页 |
2.1.2 负压缩性抛光原理 | 第24-25页 |
2.2 负压缩性抛光装置的设计 | 第25-32页 |
2.2.1 负压缩性抛光装置的构型 | 第25-26页 |
2.2.2 负压缩性结构单元的选取与分析 | 第26-32页 |
2.3 负压缩性抛光装置的静力学仿真分析与优化 | 第32-37页 |
2.3.1 负压缩性抛光装置的仿真验证 | 第32-33页 |
2.3.2 负压缩性抛光装置的参数优化 | 第33-37页 |
2.4 抛光装置的负压缩性测试 | 第37-39页 |
2.5 本章小结 | 第39-41页 |
第3章 去除函数建模与试验验证 | 第41-53页 |
3.1 去除函数模型的建立 | 第41-45页 |
3.1.1 抛光接触区域压强分布模型 | 第41页 |
3.1.2 抛光接触区域速度分布模型 | 第41-43页 |
3.1.3 去除函数模型 | 第43-44页 |
3.1.4 比例系数k的确定方法 | 第44-45页 |
3.2 边缘去除函数模型的建立 | 第45-47页 |
3.3 去除函数模型的试验验证 | 第47-51页 |
3.3.1 仿真结果与试验验证 | 第47-50页 |
3.3.2 比例系数k的确定 | 第50-51页 |
3.4 本章小结 | 第51-53页 |
第4章 抛光试验与结果分析 | 第53-73页 |
4.1 试验条件 | 第53-56页 |
4.1.1 试验设备和检测系统 | 第53-55页 |
4.1.2 工件材料的选取 | 第55页 |
4.1.3 抛光工具及抛光剂的选取 | 第55-56页 |
4.2 抛光工艺参数对工件表面粗糙度的影响 | 第56-60页 |
4.2.1 正交试验设计 | 第56-57页 |
4.2.2 试验结果及分析 | 第57-60页 |
4.3 抛光工艺参数对材料去除效率的影响 | 第60-64页 |
4.3.1 正交试验设计 | 第61页 |
4.3.2 试验结果及分析 | 第61-64页 |
4.3.3 抛光工艺参数综合优选 | 第64页 |
4.4 负压缩性的抛光试验研究 | 第64-71页 |
4.4.1 抛光轨迹的选择 | 第64-67页 |
4.4.2 负压缩性的抛光对比试验 | 第67-69页 |
4.4.3 抛光时间对负压缩性抛光的影响 | 第69-71页 |
4.5 本章小结 | 第71-73页 |
第5章 全文总结与展望 | 第73-75页 |
5.1 全文总结 | 第73-74页 |
5.2 展望 | 第74-75页 |
参考文献 | 第75-83页 |
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第83-85页 |
致谢 | 第85页 |