| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 选题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外温度控制技术的发展 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第12页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 生长蓝宝石单晶的冷却水系统的硬件设计 | 第14-44页 |
| 2.1 蓝宝石单晶生长技术 | 第14-20页 |
| 2.1.1 蓝宝石单晶的特性及生长方法 | 第14-18页 |
| 2.1.2 KY法生长蓝宝石单晶 | 第18-19页 |
| 2.1.3 蓝宝石企业的现状与发展 | 第19-20页 |
| 2.2 冷却水系统介绍 | 第20-25页 |
| 2.2.1 冷却水系统选型 | 第20-22页 |
| 2.2.2 冷却塔选型 | 第22-25页 |
| 2.3 生长蓝宝石单晶的冷却水系统的硬件结构 | 第25-27页 |
| 2.4 PLC选型 | 第27-30页 |
| 2.5 PID控制器 | 第30-36页 |
| 2.5.1 PID控制器的原理 | 第30-32页 |
| 2.5.2 PID控制器的特点 | 第32-33页 |
| 2.5.3 PID控制器的算法 | 第33-35页 |
| 2.5.4 PID控制器设定参数的原则 | 第35-36页 |
| 2.6 变频器的原理及应用 | 第36-38页 |
| 2.7 传感器的选型 | 第38-40页 |
| 2.8 系统主要模块硬件接线图 | 第40-44页 |
| 第三章 生长蓝宝石单晶的冷却水系统的软件设计与实现 | 第44-68页 |
| 3.1 冷却水系统控制部分结构 | 第44-45页 |
| 3.2 SIEMENS STEP 7- MICRO/WIN编程软件 | 第45-50页 |
| 3.2.1 SIEMENS STEP 7- MICRO/WIN编程软件的主要功能 | 第45-48页 |
| 3.2.2 SIEMENS STEP 7- MICRO/WIN编程软件的窗.组件 | 第48-49页 |
| 3.2.3 SIEMENS STEP 7- MICRO/WIN的编程概念 | 第49-50页 |
| 3.3 I/O地址分配 | 第50-52页 |
| 3.4 PID控制设计 | 第52-59页 |
| 3.4.1 恒温恒压控制流程 | 第52-54页 |
| 3.4.2 PID算法转换 | 第54-57页 |
| 3.4.3 恒温恒压控制程序 | 第57-59页 |
| 3.5 人机界面 | 第59-66页 |
| 3.5.1 SIMATIC HMI介绍 | 第59-60页 |
| 3.5.2 西门子WINCC FLEXIBLE软件 | 第60-61页 |
| 3.5.3 触摸屏显示设计与实现 | 第61-66页 |
| 3.6 冷却水系统调试 | 第66-68页 |
| 第四章 结论 | 第68-69页 |
| 4.1 本文的主要贡献 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
