| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 SU-8胶薄膜加工工艺研究的重要意义 | 第8-9页 |
| 1.2 SU-8薄膜力学特性在线测量的重要意义 | 第9页 |
| 1.3 国内外研究现状及论文的主要内容 | 第9-11页 |
| 第2章 MEMS薄膜材料应力梯度及应力在线测量方法综述 | 第11-20页 |
| 2.1 MEMS薄膜应力梯度测量方法 | 第11-17页 |
| 2.1.1 光学测量法 | 第11-16页 |
| 2.1.2 静电吸合法 | 第16-17页 |
| 2.2 MEMS薄膜应力测量方法 | 第17-20页 |
| 2.2.1 基片变形法 | 第18-19页 |
| 2.2.2 微梁旋转法 | 第19-20页 |
| 第3章 乒乓球拍测试结构在线测量薄膜应力梯度 | 第20-27页 |
| 3.1 圆形薄膜应力梯度测量原理 | 第20-22页 |
| 3.2 CoventorWare仿真验证 | 第22-25页 |
| 3.3 乒乓球拍测试结构 | 第25-27页 |
| 第4章 SU-8乒乓球拍测试结构与微梁旋转法结构加工 | 第27-35页 |
| 4.1 SU-8加工工艺研究综述 | 第27-31页 |
| 4.1.1 基片清洗工艺的影响 | 第27-28页 |
| 4.1.2 匀胶工艺的影响 | 第28页 |
| 4.1.3 前烘工艺的影响 | 第28-29页 |
| 4.1.4 曝光工艺的影响 | 第29-30页 |
| 4.1.5 后烘工艺的影响 | 第30-31页 |
| 4.1.6 显影工艺的影响 | 第31页 |
| 4.2 乒乓球拍结构工艺过程 | 第31-33页 |
| 4.3 微梁旋转法测试结构加工工艺 | 第33-35页 |
| 第5章 SU-8胶薄膜应力梯度及应力在线测量 | 第35-40页 |
| 5.1 SU-8薄膜应力梯度测量 | 第35-39页 |
| 5.2 微梁旋转法SU-8应力测量 | 第39-40页 |
| 第6章 总结 | 第40-42页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第40页 |
| 6.2 有待解决的问题及下一步工作展望 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |