| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| 第一节 薄膜太阳能电池绒面前端电极 | 第12-14页 |
| 第二节 TCO薄膜的应用标准 | 第14页 |
| 第三节 AZO薄膜的特性和研究进展 | 第14-16页 |
| 第四节 缓冲层的特性和研究进展 | 第16页 |
| 第五节 本论文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 薄膜的制备与性能表征手段 | 第18-27页 |
| 第一节 薄膜制备技术 | 第19-21页 |
| 第二节 薄膜性能表征技术 | 第21-27页 |
| 第三章 AZO薄膜的制备与工艺优化 | 第27-42页 |
| 第一节 实验方法 | 第28页 |
| 第二节 溅射功率对薄膜性能的影响 | 第28-29页 |
| 第三节 工作气压对薄膜性能的影响 | 第29-32页 |
| 第四节 衬底温度对薄膜性能的影响 | 第32-35页 |
| 第五节 降温气氛对薄膜性能的影响 | 第35-36页 |
| 第六节 AZO绒面结构的制备 | 第36-40页 |
| 第七节 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 不同衬底的AZO薄膜的制备与性能 | 第42-51页 |
| 第一节 实验方法 | 第42页 |
| 第二节 不同衬底对薄膜性能的影响 | 第42-50页 |
| 第三节 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 缓冲层对AZO薄膜的结构和性能影响 | 第51-64页 |
| 第一节 实验方法 | 第51-52页 |
| 第二节 不同缓冲层厚度对Si衬底上制备的AZO薄膜性能的影响 | 第52-55页 |
| 第三节 不同缓冲层厚度对石英衬底上制备的AZO薄膜性能的影响 | 第55-59页 |
| 第四节 不同缓冲层厚度对Al_2O_3/GaN衬底上制备的AZO薄膜性能的影响 | 第59-62页 |
| 第五节 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 后记 | 第69-70页 |
