| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第14-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外非接触式透明材料厚度测量技术的研究和发展现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 国外的研究和发展现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 国内的研究和发展现状 | 第16页 |
| 1.2.3 常见的透明材料厚度测量技术 | 第16-22页 |
| 1.3 共焦显微测量技术的研究和发展现状 | 第22-23页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 系统的原理分析和总体方案 | 第26-48页 |
| 2.1 系统基本原理分析 | 第26-39页 |
| 2.1.1 共焦显微原理和光路结构 | 第26-29页 |
| 2.1.2 共焦显微系统成像理论 | 第29-36页 |
| 2.1.3 共焦显微系统轴向特性分析 | 第36-39页 |
| 2.2 影响系统分辨力的主要因素分析 | 第39-44页 |
| 2.2.1 探测针孔位置的影响 | 第39-40页 |
| 2.2.2 针孔尺寸的影响 | 第40-43页 |
| 2.2.3 显微物镜数值孔径和光源波长的影响 | 第43-44页 |
| 2.3 共焦显微系统用于超薄透明材料厚度测量的原理及其数学模型 | 第44-46页 |
| 2.3.1 共焦显微系统用于超薄透明材料厚度测量的原理 | 第44页 |
| 2.3.2 共焦显微系统用于超薄透明材料厚度测量的数学模型 | 第44-46页 |
| 2.4 系统的总体方案 | 第46-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 共焦显微光学系统设计 | 第48-82页 |
| 3.1 光学系统的设计 | 第48-66页 |
| 3.1.1 共焦显微光学系统的组成和结构布局 | 第48-49页 |
| 3.1.2 光学系统的设计指标 | 第49页 |
| 3.1.3 显微物镜的设计 | 第49-57页 |
| 3.1.4 扩束和准直透镜组的设计 | 第57-59页 |
| 3.1.5 聚焦透镜的设计 | 第59-63页 |
| 3.1.6 照明光路 | 第63-65页 |
| 3.1.7 聚焦光路 | 第65-66页 |
| 3.2 光学系统的公差分析 | 第66-73页 |
| 3.2.1 共焦显微光学系统的制造和装配公差分析 | 第66-69页 |
| 3.2.2 分光镜的选择和装配公差分析 | 第69-73页 |
| 3.3 机械结构的设计 | 第73-79页 |
| 3.3.1 各光组的镜头结构 | 第73-76页 |
| 3.3.2 轴向调节装置 | 第76-78页 |
| 3.3.3 总体装配结构 | 第78-79页 |
| 3.4 本章小结 | 第79-82页 |
| 第4章 原理样机搭建与实验分析 | 第82-100页 |
| 4.1 搭建原理样机的主要配件 | 第82-84页 |
| 4.1.1 照明光源的选择 | 第82-83页 |
| 4.1.2 探测器和位移平台的选择 | 第83-84页 |
| 4.2 原理样机的搭建、调节与厚度测量实验流程 | 第84-89页 |
| 4.2.1 系统共光轴和针孔的调节 | 第85-86页 |
| 4.2.2 厚度测量实验流程 | 第86-87页 |
| 4.2.3 CCD采样图像的峰值定位 | 第87-89页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第89-97页 |
| 4.3.1 厚度测量实验 | 第90页 |
| 4.3.2 数据处理及测量曲线的绘制 | 第90-95页 |
| 4.3.3 实验结果及分析 | 第95-97页 |
| 4.4 误差来源分析 | 第97-98页 |
| 4.5 本章小结 | 第98-100页 |
| 第5章 总结与展望 | 第100-102页 |
| 5.1 总结 | 第100-101页 |
| 5.2 对未来工作的展望 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-106页 |
| 致谢 | 第106-108页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第108页 |
