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A1掺杂ZnO薄膜的制备及激光感生电压效应

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-17页
   ·ZnO的结构与基本性质第8-9页
   ·ZnO的研究现状第9-10页
   ·ZnO的热电性质第10-14页
   ·ZnO薄膜的应用第14-16页
   ·论文研究目的及意义第16-17页
第二章 试验设备及方法第17-28页
   ·准分子激光蒸发镀膜设备第17-20页
     ·蒸镀原理及典型工艺第17-18页
     ·准分子激光蒸镀的工艺特点第18页
     ·准分子激光蒸发的动力学过程第18-19页
     ·准分子激光镀膜设备第19-20页
   ·LIV测量设备第20-21页
   ·X射线θ-2θ衍射及单θ扫描第21-24页
     ·X射线θ-2θ衍射第21-23页
     ·单θ扫描第23-24页
   ·电阻温度关系测量及原理第24-28页
第三章 Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备第28-54页
   ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材的合成第28-35页
     ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材制备方法第28-29页
     ·Zn_(l-x)Al_xO多晶靶材制备过程第29-33页
     ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材实验结果及讨论第33-35页
   ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备第35-46页
     ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备过程第36-39页
     ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜沉积条件的优化第39-46页
   ·不同条件下Zn_(1-x)Al_xO薄膜电阻温度关系研究第46-52页
     ·Al掺杂量不同的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系第46-50页
     ·衬底温度不同的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系第50-52页
     ·不同衬底的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系第52页
   ·本章小结第52-54页
第四章 Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压效应的研究第54-72页
   ·前言第54-62页
     ·LIV效应的发现和发展第54-57页
     ·LIV效应原理第57-62页
   ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的LIV效应第62-71页
     ·退火氧压对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响第62-65页
     ·生长氧压对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响第65-67页
     ·生长温度对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响第67-69页
     ·Al掺杂对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响第69-71页
   ·本章小结第71-72页
第五章 结论第72-74页
致谢第74-75页
参考文献第75-79页
附录:攻读硕士期间取得的研究成果第79页

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