| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·ZnO的结构与基本性质 | 第8-9页 |
| ·ZnO的研究现状 | 第9-10页 |
| ·ZnO的热电性质 | 第10-14页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第14-16页 |
| ·论文研究目的及意义 | 第16-17页 |
| 第二章 试验设备及方法 | 第17-28页 |
| ·准分子激光蒸发镀膜设备 | 第17-20页 |
| ·蒸镀原理及典型工艺 | 第17-18页 |
| ·准分子激光蒸镀的工艺特点 | 第18页 |
| ·准分子激光蒸发的动力学过程 | 第18-19页 |
| ·准分子激光镀膜设备 | 第19-20页 |
| ·LIV测量设备 | 第20-21页 |
| ·X射线θ-2θ衍射及单θ扫描 | 第21-24页 |
| ·X射线θ-2θ衍射 | 第21-23页 |
| ·单θ扫描 | 第23-24页 |
| ·电阻温度关系测量及原理 | 第24-28页 |
| 第三章 Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备 | 第28-54页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材的合成 | 第28-35页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材制备方法 | 第28-29页 |
| ·Zn_(l-x)Al_xO多晶靶材制备过程 | 第29-33页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO多晶靶材实验结果及讨论 | 第33-35页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备 | 第35-46页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的制备过程 | 第36-39页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜沉积条件的优化 | 第39-46页 |
| ·不同条件下Zn_(1-x)Al_xO薄膜电阻温度关系研究 | 第46-52页 |
| ·Al掺杂量不同的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系 | 第46-50页 |
| ·衬底温度不同的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系 | 第50-52页 |
| ·不同衬底的Zn_(1-x)Al_xO薄膜的电阻温度关系 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压效应的研究 | 第54-72页 |
| ·前言 | 第54-62页 |
| ·LIV效应的发现和发展 | 第54-57页 |
| ·LIV效应原理 | 第57-62页 |
| ·Zn_(1-x)Al_xO薄膜的LIV效应 | 第62-71页 |
| ·退火氧压对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响 | 第62-65页 |
| ·生长氧压对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响 | 第65-67页 |
| ·生长温度对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响 | 第67-69页 |
| ·Al掺杂对Zn_(1-x)Al_xO薄膜的激光感生电压的影响 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 附录:攻读硕士期间取得的研究成果 | 第79页 |
