| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 InP基器件集成概述 | 第12-15页 |
| 1.2 InP基微环谐振器的研究现状 | 第15-23页 |
| 1.3 InP基微环谐振器的应用 | 第23-28页 |
| 1.4 本论文的主要内容以及创新点 | 第28-31页 |
| 2 InP基有源微环的基本理论 | 第31-50页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 微环谐振器的基本原理 | 第31-39页 |
| 2.3 双稳态的基本原理 | 第39-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 3 并联型耦合InP基有源微环的多双稳态及多稳态新特性 | 第50-69页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 器件结构 | 第51-52页 |
| 3.3 理论模型 | 第52-56页 |
| 3.4 物理机制 | 第56-60页 |
| 3.5 模拟结果 | 第60-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 4 串联型有源微环的双稳态理论研究 | 第69-79页 |
| 4.1 概述 | 第69-70页 |
| 4.2 器件结构 | 第70页 |
| 4.3 基本理论研究模型 | 第70-74页 |
| 4.4 模拟结果 | 第74-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-79页 |
| 5 InP基微环谐振器的设计 | 第79-109页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 波导设计 | 第79-106页 |
| 5.3 电学设计 | 第106页 |
| 5.4 器件制作版图 | 第106-108页 |
| 5.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 6 InP基微环谐振器的制作 | 第109-129页 |
| 6.1 引言 | 第109页 |
| 6.2 制作流程概述 | 第109-116页 |
| 6.3 MERIE对SiO_2掩模的刻蚀 | 第116-123页 |
| 6.4 InP基微环谐振器的制作 | 第123-128页 |
| 6.5 本章小结 | 第128-129页 |
| 7 有源微环的测试 | 第129-140页 |
| 7.1 引言 | 第129页 |
| 7.2 有源器件测试平台 | 第129-133页 |
| 7.3 器件封装 | 第133-134页 |
| 7.4 器件测量结果 | 第134-139页 |
| 7.5 本章小结 | 第139-140页 |
| 8 总结和展望 | 第140-144页 |
| 致谢 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-161页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第161-162页 |
| 附录2 名词中英对照表 | 第162页 |