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掩膜板在线更换伺服系统的精度控制研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-14页
    1.1 课题研究的背景与意义第9-10页
    1.2 国内外研究现状第10-12页
    1.3 本文主要研究内容第12-14页
第二章 伺服电机连接零件的载荷计算与分析第14-25页
    2.1 扭矩轴的扭矩计算第15-18页
    2.2 扭矩轴的振动分析第18-20页
    2.3 扭转轴上普通平键的载荷计算第20-21页
    2.4 转盘法兰盘上螺栓组的载荷计算第21-24页
    2.5 本章小结第24-25页
第三章 伺服进给系统的精度控制研究第25-48页
    3.1 伺服系统的原理与结构第25-26页
    3.2 伺服驱动器控制模式的选择第26-31页
        3.2.1 伺服驱动器的控制模式第26-27页
        3.2.2 伺服驱动器位置控制模式第27-31页
    3.3 伺服电机的加减速过程优化设计第31-44页
        3.3.1 伺服驱动器S型加减速设计的原理第31-33页
        3.3.2 MR-E-20A伺服驱动器的参数设计第33-39页
        3.3.3 MR-E-10A伺服驱动器的参数设计第39-41页
        3.3.4 MR-J3-10A伺服驱动器的参数设计第41-44页
    3.4 高精度伺服进给执行机构第44-46页
    3.5 本章小结第46-48页
第四章 伺服控制系统的程序优化设计第48-62页
    4.1 GX Developer软件介绍第48-49页
    4.2 阵列转盘程序优化设计第49-58页
        4.2.1 阵列转盘原点回归第49-53页
        4.2.2 阵列转盘单向旋转功能的实现第53-54页
        4.2.3 阵列转盘等时间旋转定位功能的实现第54-58页
    4.3 二维传送平台的程序设计第58-61页
    4.4 本章小结第61-62页
第五章 测试平台的搭建与数据分析第62-68页
    5.1 测试平台的组成第62-64页
        5.1.1 光电编码器的原理与结构第62-63页
        5.1.2 STM32 ARM开发板的原理与结构第63-64页
    5.2 测试平台的搭建第64-66页
    5.3 测试平台的调试与测量第66-67页
    5.4 本章小结第67-68页
第六章 总结与展望第68-71页
    6.1 本文总结第68-69页
    6.2 展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-75页
攻读硕士学位期间发表的论文和成果第75页

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