| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 课题来源和问题 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3.1 检测手段现状 | 第12-14页 |
| 1.3.2 快速定位配准现状 | 第14页 |
| 1.3.3 柔性基板图像检测方法现状 | 第14-15页 |
| 1.4 研究内容和难点 | 第15-16页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第16-18页 |
| 第二章 硬件系统与软件机制 | 第18-29页 |
| 2.1 高密度柔性基板检测系统需求分析 | 第19页 |
| 2.2 硬件系统设计 | 第19-26页 |
| 2.2.1 显微镜图像采集平台 | 第20-23页 |
| 2.2.2 精密控制载物台 | 第23-26页 |
| 2.3 软件系统设计 | 第26-28页 |
| 2.3.1 主要物理参数测量模块设计 | 第27-28页 |
| 2.3.2 缺陷检测模块设计 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 快速自动定位匹配 | 第29-42页 |
| 3.1 引入快速自动定位匹配的重要性 | 第29-30页 |
| 3.2 基于深度卷积网络与SURF配准的精准定位 | 第30-38页 |
| 3.2.1 深度卷积神经网络介绍 | 第30-31页 |
| 3.2.2 基于深度卷积网络的特征提取方法 | 第31-32页 |
| 3.2.3 角点特征提取与匹配 | 第32-36页 |
| 3.2.4 数据降维 | 第36-37页 |
| 3.2.5 精确配准定位的具体步骤流程 | 第37-38页 |
| 3.3 精确定位实验与分析 | 第38-41页 |
| 3.3.1 精准定位应用中的计算过程 | 第38-40页 |
| 3.3.2 SLSH与PCA降维方法对定位结果的影响 | 第40页 |
| 3.3.3 定位算法性能比较 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 线宽线距测量及简单缺陷检测 | 第42-63页 |
| 4.1 图像预处理及二值图像构建 | 第42-44页 |
| 4.2 边缘提取 | 第44-50页 |
| 4.2.1 Canny算法边缘提取 | 第44-46页 |
| 4.2.2 基于图像尺度空间的高精度边缘提取 | 第46-50页 |
| 4.3 边缘提取实验结果对比分析 | 第50-51页 |
| 4.4 宽度计算 | 第51-60页 |
| 4.4.1 Hilditch细化后进行宽度计算 | 第51-53页 |
| 4.4.2 根据边缘测量宽度 | 第53-58页 |
| 4.4.3 宽度计算实验 | 第58-60页 |
| 4.5 开路短路检测 | 第60-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 高密度柔性基板的圆检测 | 第63-72页 |
| 5.1 平均值法拟合圆 | 第63-64页 |
| 5.1.1 平均值法 | 第63页 |
| 5.1.2 加权平均法 | 第63-64页 |
| 5.2 最小二乘法拟合圆 | 第64-66页 |
| 5.3 基于hough变化拟合圆 | 第66-67页 |
| 5.4 周长面积比结合加权均值拟合圆 | 第67-70页 |
| 5.4.1 形态学膨胀腐蚀 | 第67-68页 |
| 5.4.2 连通域 | 第68-70页 |
| 5.5 实验与分析 | 第70-71页 |
| 5.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附件 | 第80页 |