| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| §1.1 引言 | 第9-12页 |
| §1.2 国内外相关研究工作 | 第12-19页 |
| §1.2.1 国外相关研究工作 | 第12-15页 |
| §1.2.2 国内相关研究工作 | 第15-19页 |
| §1.3 本文的选题依据和主要研究工作 | 第19页 |
| §1.4 小结 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 底层Ag膜的制备、微结构及其光电性能表征 | 第23-34页 |
| §2.1 研究底层Ag膜的意义 | 第23页 |
| §2.2 薄膜样品制备 | 第23-24页 |
| §2.2.1 基片的清洗 | 第23-24页 |
| §2.2.2 底层Ag膜的制备 | 第24页 |
| §2.3 微结构分析 | 第24-26页 |
| §2.3.1 X射线衍射(XRD)表征 | 第24-25页 |
| §2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)表征 | 第25-26页 |
| §2.4 膜厚测量 | 第26-28页 |
| §2.4.1 表面轮廓仪测量膜厚 | 第26-27页 |
| §2.4.2 椭偏解谱软件FilmWizard拟合透射光谱确定膜厚 | 第27-28页 |
| §2.5 光学特性分析 | 第28-31页 |
| §2.5.1 透射光谱分析 | 第28-29页 |
| §2.5.2 反射光谱分析 | 第29-30页 |
| §2.5.3 吸收光谱分析 | 第30页 |
| §2.5.4 光学常数分析 | 第30-31页 |
| §2.6 电学特性分析 | 第31-32页 |
| §2.7 小结 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-34页 |
| 第三章 ITO/Ag和Ag/ITO复合薄膜的制备、微结构及其光电性能表征 | 第34-46页 |
| §3.1 Ag/ITO与ITO/Ag复合薄膜样品制备 | 第34-35页 |
| §3.2 微结构分析 | 第35-36页 |
| §3.3 膜厚测量 | 第36-38页 |
| §3.3.1 表面轮廓仪测量膜厚 | 第36-37页 |
| §3.3.2 椭偏解谱软件FilmWizard拟合透射光谱确定膜厚 | 第37-38页 |
| §3.4 光学特性分析 | 第38-42页 |
| §3.4.1 透射光谱分析 | 第38-39页 |
| §3.4.2 反射光谱分析 | 第39-40页 |
| §3.4.3 吸收光谱分析 | 第40-41页 |
| §3.4.4 光学常数分析 | 第41-42页 |
| §3.5 电学特性分析 | 第42-44页 |
| §3.6 小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第四章 Ag/ITO/Ag多层薄膜的制备、微结构及其光电性能表征 | 第46-62页 |
| §4.1 Ag/ITO/Ag多层薄膜样品的制备 | 第46-47页 |
| §4.2 微结构分析 | 第47-49页 |
| §4.2.1 X射线衍射(XRD)表征 | 第47-49页 |
| §4.3 扫描电子显微镜(SEM)表征 | 第49-51页 |
| §4.3.1 利用SEM测试多层薄膜的表面形貌 | 第49-50页 |
| §4.3.2 利用SEM测试多层薄膜的断面形貌 | 第50-51页 |
| §4.4 膜厚测量 | 第51-52页 |
| §4.5 光学特性分析 | 第52-57页 |
| §4.5.1 透射光谱分析 | 第52-54页 |
| §4.5.2 反射光谱分析 | 第54-56页 |
| §4.5.3 吸收光谱分析 | 第56-57页 |
| §4.6 电学特性分析 | 第57-58页 |
| §4.7 效能因子和分光比 | 第58-60页 |
| §4.8 小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 第五章 结论与后续工作展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第65页 |
