| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 前言 | 第10-20页 |
| 1.1 石英 | 第10页 |
| 1.2 高纯石英 | 第10-12页 |
| 1.2.1 高纯石英的种类 | 第10页 |
| 1.2.2 4N8高端高纯石英 | 第10-11页 |
| 1.2.3 高纯石英的前景与应用 | 第11-12页 |
| 1.3 高纯石英的加工方法 | 第12-13页 |
| 1.3.1 高纯石英的物理加工法 | 第12页 |
| 1.3.2 高纯石英的化学加工法 | 第12-13页 |
| 1.4 国内外高纯石英加工技术现状 | 第13页 |
| 1.5 氯化焙烧 | 第13-16页 |
| 1.5.1 氯化焙烧原理 | 第13-14页 |
| 1.5.2 氯化焙烧工艺方法类型 | 第14-15页 |
| 1.5.3 氯化焙烧提纯技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.6 氯化焙烧提纯技术相关设备 | 第16-18页 |
| 1.6.1 三腔式石英砂提纯炉 | 第16页 |
| 1.6.2 小型管式炉 | 第16-17页 |
| 1.6.3 1500℃小型管式炉（BTF-1500C） | 第17-18页 |
| 1.7 立项依据及可行性分析 | 第18页 |
| 1.7.1 立项依据 | 第18页 |
| 1.7.2 可行性分析 | 第18页 |
| 1.8 研究目标和研究内容 | 第18-19页 |
| 1.8.1 研究目标 | 第18页 |
| 1.8.2 研究内容 | 第18-19页 |
| 1.9 完成的工作量 | 第19-20页 |
| 第2章 NH_4Cl固态氯化焙烧法制备高纯石英的实验研究 | 第20-33页 |
| 2.1 前言 | 第20页 |
| 2.2 实验 | 第20-25页 |
| 2.2.1 实验仪器 | 第20页 |
| 2.2.2 实验试剂 | 第20-21页 |
| 2.2.3 实验样品 | 第21-23页 |
| 2.2.4 样品的酸浸 | 第23页 |
| 2.2.5 NH_4Cl固态氯化焙烧法 | 第23页 |
| 2.2.6 实验步骤 | 第23-24页 |
| 2.2.7 实验样品的ICP检测 | 第24-25页 |
| 2.2.8 ICP检测结果的计算方法 | 第25页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第25-31页 |
| 2.3.1 普通加工法与NH_4Cl固态氯化焙烧法实验的效果 | 第25-27页 |
| 2.3.2 NH_4Cl固态氯化焙烧法的应用实验的结果 | 第27-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 Cl_2气态氯化焙烧法制备高纯石英的工艺实验研究 | 第33-47页 |
| 3.1 前言 | 第33页 |
| 3.2 实验 | 第33-38页 |
| 3.2.1 实验试剂 | 第33页 |
| 3.2.2 实验样品 | 第33-35页 |
| 3.2.3 实验仪器和设备 | 第35-37页 |
| 3.2.4 实验步骤 | 第37-38页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第38-46页 |
| 3.3.1 普通加工法与Cl_2气态氯化焙烧法的效果比较 | 第38-40页 |
| 3.3.2 气体流速与提纯效果的关系 | 第40-41页 |
| 3.3.3 焙烧温度与提纯效果的关系 | 第41-43页 |
| 3.3.4 恒温时间与提纯效果的关系 | 第43-44页 |
| 3.3.5 Cl_2气态氯化焙烧法在优化工艺参数下的提纯效果 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 Cl_2气态氯化焙烧法制备 4N8高纯石英的应用实验研究 | 第47-57页 |
| 4.1 前言 | 第47页 |
| 4.2 实验 | 第47-48页 |
| 4.2.1 实验样品 | 第47页 |
| 4.2.2 实验试剂 | 第47页 |
| 4.2.3 实验仪器和设备 | 第47-48页 |
| 4.2.4 实验步骤 | 第48页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第48-55页 |
| 4.3.1 氯化焙烧-酸浸顺序实验的效果 | 第48-50页 |
| 4.3.2 Cl_2气态氯化焙烧法制备 4N8高纯石英的应用实验 | 第50-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录：攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第63页 |
