| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| Chapter 1 Introduction | 第8-16页 |
| 1.1 State of Energy Conversion and Integrated Circuits | 第8-10页 |
| 1.2 Properties of semiconductor Nanowire | 第10-11页 |
| 1.3 Light Emission from Nanoscale Silicon | 第11页 |
| 1.4 Fabrication of Silicon Nanowires by PECVD | 第11-13页 |
| 1.5 Other Methods of Fabrication | 第13-16页 |
| Chapter 2 Theoretical Aspects and Devices of Silicon Nanowires | 第16-34页 |
| 2.1 Theory of Nanowire Growth | 第16-21页 |
| 2.1.1 Growth Mechanisms | 第16-18页 |
| 2.1.2 Effect of Metal Catalyst | 第18-20页 |
| 2.1.3 Plasma Enhancement | 第20-21页 |
| 2.2 Nanowire Theory and Devices | 第21-24页 |
| 2.2.1 Confinement and Its Effects | 第21-22页 |
| 2.2.2 Electronic Device Uses | 第22页 |
| 2.2.3 Energy Conversion Use | 第22-24页 |
| 2.3 Electron Devices Based on Silicon Nanowires | 第24-34页 |
| 2.3.1 Silicon Nanowire Based Sensors | 第30-31页 |
| 2.3.2 Silicon Nanowire Based Solar Cells and Anodes for Li-Ion Batteries | 第31-34页 |
| Chapter 3 Experimental Investigation and Research Tools | 第34-40页 |
| 3.1 Experimental Approach | 第34-35页 |
| 3.2 Deposition Tools | 第35-38页 |
| 3.2.1 Single Chamber System Overview | 第35-38页 |
| 3.2.2 MV Systems Tool System Overview | 第38页 |
| 3.3 Characterization Tools | 第38-40页 |
| 3.3.1 Scanning Electron Microscope | 第38-40页 |
| Chapter 4 Results of Fabrication | 第40-50页 |
| 4.1 Aluminum Catalyst | 第40-50页 |
| Chapter 5 Concluding Remarks and Future Work | 第50-54页 |
| 5.1 Summary of Observations | 第50-51页 |
| 5.2 Generalization of Growth Method | 第51-53页 |
| 5.3 Where We Go From Here | 第53-54页 |
| Acknowledgement | 第54-56页 |
| Dedication | 第56-58页 |
| References | 第58-64页 |
| Figure List | 第64-66页 |
| Table List | 第66-68页 |
| Author Bibliography | 第68页 |
