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辉光放电等离子体等效电路模型建立及验证

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
符号对照表第10-11页
缩略语对照表第11-14页
第一章 绪论第14-18页
    1.1 论文的背景及研究意义第14-15页
    1.2 国内外研究现状第15-16页
    1.3 论文的主要工作第16-18页
第二章 低气压辉光放电等离子体特性第18-32页
    2.1 低气压辉光放电介绍第18-24页
        2.1.1 气体放电的历史回顾第18页
        2.1.2 汤生理论第18-20页
        2.1.3 辉光放电各区域介绍第20-23页
        2.1.4 辉光放电中带电粒子的基本运动第23-24页
    2.2 辉光放电正柱区特性第24-27页
        2.2.1 放电管正柱区的带电粒子密度分布第24-26页
        2.2.2 放电管正柱区的径向电位分布第26-27页
    2.3 辉光放电鞘层特性第27-31页
        2.3.1 高电压无碰撞鞘层理论第27-29页
        2.3.2 高电压碰撞鞘层理论第29-31页
    2.4 本章小结第31-32页
第三章 等离子体等效电路模型建立第32-52页
    3.1 实验装置介绍第32-33页
    3.2 仿真分析第33-37页
    3.3 等效电路模型建立第37-50页
        3.3.1 放电区的等效理论第37-44页
        3.3.2 扩散区的等效理论第44-48页
        3.3.3 等离子体等效电路模型的建立第48-50页
    3.4 本章小结第50-52页
第四章 等离子体等效电路模型验证第52-64页
    4.1 等离子体等效电路模型电参数的确定第52-57页
        4.1.1 电路仿真软件的介绍第52-53页
        4.1.2 等效电路模型参数的匹配第53-55页
        4.1.3 等效电路模型参数的确定第55-57页
    4.2 基于电路模型等离子体参数的计算推导第57-59页
    4.3 等离子体参数的计算结果和探针实测数据对比分析第59-62页
    4.4 本章小结第62-64页
第五章 总结与展望第64-66页
参考文献第66-68页
致谢第68-70页
作者简介第70-71页

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