| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第10-11页 |
| 缩略语对照表 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-18页 |
| 1.1 论文的背景及研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 低气压辉光放电等离子体特性 | 第18-32页 |
| 2.1 低气压辉光放电介绍 | 第18-24页 |
| 2.1.1 气体放电的历史回顾 | 第18页 |
| 2.1.2 汤生理论 | 第18-20页 |
| 2.1.3 辉光放电各区域介绍 | 第20-23页 |
| 2.1.4 辉光放电中带电粒子的基本运动 | 第23-24页 |
| 2.2 辉光放电正柱区特性 | 第24-27页 |
| 2.2.1 放电管正柱区的带电粒子密度分布 | 第24-26页 |
| 2.2.2 放电管正柱区的径向电位分布 | 第26-27页 |
| 2.3 辉光放电鞘层特性 | 第27-31页 |
| 2.3.1 高电压无碰撞鞘层理论 | 第27-29页 |
| 2.3.2 高电压碰撞鞘层理论 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 等离子体等效电路模型建立 | 第32-52页 |
| 3.1 实验装置介绍 | 第32-33页 |
| 3.2 仿真分析 | 第33-37页 |
| 3.3 等效电路模型建立 | 第37-50页 |
| 3.3.1 放电区的等效理论 | 第37-44页 |
| 3.3.2 扩散区的等效理论 | 第44-48页 |
| 3.3.3 等离子体等效电路模型的建立 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 等离子体等效电路模型验证 | 第52-64页 |
| 4.1 等离子体等效电路模型电参数的确定 | 第52-57页 |
| 4.1.1 电路仿真软件的介绍 | 第52-53页 |
| 4.1.2 等效电路模型参数的匹配 | 第53-55页 |
| 4.1.3 等效电路模型参数的确定 | 第55-57页 |
| 4.2 基于电路模型等离子体参数的计算推导 | 第57-59页 |
| 4.3 等离子体参数的计算结果和探针实测数据对比分析 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 作者简介 | 第70-71页 |