| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 铁电性 | 第8-10页 |
| 1.2 BaTiO_3的结构与性能 | 第10-11页 |
| 1.3 铁电隧道结的研究历程 | 第11-15页 |
| 1.4 电致阻变效应的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.5 问题的提出与研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 实验内容与实验方法 | 第19-31页 |
| 2.1 实验内容 | 第19页 |
| 2.2 BaTiO_3靶材的制备 | 第19-21页 |
| 2.2.1 实验仪器与主要原料 | 第19-20页 |
| 2.2.2 制备工艺与流程 | 第20-21页 |
| 2.3 薄膜的制备方法 | 第21-25页 |
| 2.4 结构与性能表征 | 第25-31页 |
| 2.4.1 相结构表征 | 第25-26页 |
| 2.4.2 显微结构表征 | 第26-27页 |
| 2.4.3 铁电畴结构表征 | 第27-29页 |
| 2.4.4 电致阻变效应的表征 | 第29页 |
| 2.4.5 电学性能测试与表征 | 第29-31页 |
| 第三章 导电缓冲层SrRuO_3的制备、结构及电性能研究 | 第31-37页 |
| 3.1 衬底温度对于SrRuO_3的影响 | 第31-33页 |
| 3.2 沉积氧压对于SrRuO_3的影响 | 第33-34页 |
| 3.3 激光频率对于SrRuO_3的影响 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 BaTiO_3铁电薄膜的制备、结构及性能研究 | 第37-49页 |
| 4.1 BaTiO_3铁电薄膜的制备工艺参数的优化 | 第37-39页 |
| 4.1.1 衬底温度对于BaTiO_3薄膜的影响 | 第37-38页 |
| 4.1.2 沉积氧压对于薄膜铁电性的影响 | 第38-39页 |
| 4.2 BaTiO_3薄膜的宏观电学性能表征 | 第39-40页 |
| 4.3 原位应变调控BaTiO_3薄膜的电学性能 | 第40-41页 |
| 4.4 BaTiO_3薄膜的畴结构研究 | 第41-44页 |
| 4.5 超薄BaTiO_3薄膜电致阻变效应的研究 | 第44-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 结论与展望 | 第49-51页 |
| 5.1 结论 | 第49页 |
| 5.2 展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 附件 | 第57页 |
