医用光学滤光片与可见光波段高反射膜的设计与制备工艺
| 摘要 | 第2-3页 |
| ABSTRACT | 第3页 |
| 第1章 引言 | 第6-10页 |
| 1.1 光学薄膜与现代光学系统 | 第6页 |
| 1.2 光学薄膜的发展历程及研究现状 | 第6-8页 |
| 1.3 研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.4 本文内容结构 | 第9-10页 |
| 第2章 光学薄膜基本理论 | 第10-20页 |
| 2.1 电磁理论基础 | 第10-13页 |
| 2.1.1 麦克斯韦方程 | 第10页 |
| 2.1.2 波动方程的解 | 第10-11页 |
| 2.1.3 光学导纳 | 第11-12页 |
| 2.1.4 边界条件 | 第12-13页 |
| 2.2 薄膜反射率和折射率的计算 | 第13-18页 |
| 2.2.1 菲涅尔公式 | 第13-16页 |
| 2.2.2 单层介质膜的反射率 | 第16-17页 |
| 2.2.3 多层膜的计算 | 第17-18页 |
| 2.3 对称膜的等效层 | 第18-20页 |
| 第3章 医用窄带滤光片的设计与制备 | 第20-30页 |
| 3.1 滤光片膜系设计 | 第20-23页 |
| 3.2 滤光片镀制实验 | 第23-27页 |
| 3.2.1 射频溅射沉积镀膜工作原理简介 | 第23-24页 |
| 3.2.2 实验材料与仪器 | 第24页 |
| 3.2.3 膜厚监控系统的选择 | 第24页 |
| 3.2.4 镀制实验流程 | 第24-27页 |
| 3.2.4.1 实验基片的镀前清洗 | 第24-25页 |
| 3.2.4.2 沉积过程 | 第25-27页 |
| 3.3 测试结果与分析 | 第27-29页 |
| 3.3.1 实测曲线与设计曲线对比分析 | 第27-28页 |
| 3.3.2 滤光片吸潮测试 | 第28-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 可见光波段高反膜的设计与制备 | 第30-43页 |
| 4.1 高反射膜的膜系设计 | 第30-36页 |
| 4.2 高反射膜的镀制与分析 | 第36-42页 |
| 4.2.1 实验所用的材料和设备 | 第36页 |
| 4.2.2 电子枪加热蒸发介绍 | 第36-37页 |
| 4.2.3 离子束辅助沉积介绍 | 第37-38页 |
| 4.2.4 薄膜沉积实验流程 | 第38-39页 |
| 4.2.5 Tooling参数对比实验 | 第39-41页 |
| 4.2.6 不同高折射率材料对比实验 | 第41-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 结论与展望 | 第43-44页 |
| 5.1 总结 | 第43页 |
| 5.2 工作展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
