金刚石线锯切割多晶硅片气相刻蚀制绒稳定性及其控制研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第9-20页 |
| 1.1 金刚石线锯切割多晶硅片技术概况 | 第9-13页 |
| 1.1.1 金刚石线锯切割技术原理与特点 | 第10-11页 |
| 1.1.2 金刚石线锯切割多晶硅片表面特性 | 第11-13页 |
| 1.2 金刚石切割多晶硅片制绒问题与现状 | 第13-16页 |
| 1.3 气相刻蚀发展与现状 | 第16-17页 |
| 1.4 气相刻蚀制绒方法尚存在的问题 | 第17-18页 |
| 1.5 本文主要研究目的和内容 | 第18-20页 |
| 2 实验方法和过程 | 第20-24页 |
| 2.1 实验材料与试样 | 第20-21页 |
| 2.2 实验装置 | 第21-22页 |
| 2.3 实验过程 | 第22-23页 |
| 2.4 分析与表征方法 | 第23-24页 |
| 3 结果与讨论 | 第24-62页 |
| 3.1 气源酸液重复使用效果 | 第24-30页 |
| 3.2 气相刻蚀温度影响 | 第30-32页 |
| 3.3 气相刻蚀温度控制方式影响 | 第32-36页 |
| 3.4 两段升温法工艺参数的影响 | 第36-62页 |
| 3.4.1 保温时间 | 第36-47页 |
| 3.4.2 保温温度 | 第47-55页 |
| 3.4.3 升温速率 | 第55-62页 |
| 4 总结与展望 | 第62-64页 |
| 4.1 研究结论 | 第62页 |
| 4.2 本文创新点 | 第62-63页 |
| 4.3 未来工作展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
