| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·纳米压痕简介 | 第10页 |
| ·纳米压痕的概念 | 第10页 |
| ·纳米压痕的应用 | 第10页 |
| ·薄膜/基体 | 第10-13页 |
| ·薄膜/基体的一般概念 | 第10-11页 |
| ·薄膜/基体的力学行为 | 第11-12页 |
| ·薄膜/基体力学行为的研究及现状 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的目的及内容 | 第13-14页 |
| ·研究路线 | 第14-15页 |
| 第2章 基本理论 | 第15-27页 |
| ·纳米压痕原理 | 第15-21页 |
| ·纳米压痕试验原理 | 第15-16页 |
| ·硬度和弹性模量的测量原理 | 第16-20页 |
| ·影响纳米压痕试验的因素 | 第20-21页 |
| ·量纲分析 | 第21-26页 |
| ·量纲分析基本概念 | 第21-22页 |
| ·Π定理 | 第22-23页 |
| ·韧性薄膜/韧性基底体系压入问题的量纲分析 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 纳米压痕试验测试结果 | 第27-33页 |
| ·试验设备 | 第27-29页 |
| ·试验样品 | 第29页 |
| ·试验步骤 | 第29-30页 |
| ·试验结果分析 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第4章 纳米压痕过程的有限元分析及薄膜屈服强度确定 | 第33-56页 |
| ·DEFORM 软件简介 | 第33-34页 |
| ·计算模型的建立 | 第34-45页 |
| ·几何模型的建立 | 第34-35页 |
| ·材料属性设置 | 第35-36页 |
| ·网格划分 | 第36-37页 |
| ·接触分析步骤和边界设置 | 第37页 |
| ·时间步长控制 | 第37-38页 |
| ·求解 | 第38-45页 |
| ·结果分析 | 第45-52页 |
| ·载荷-位移曲线方程的确定 | 第46-49页 |
| ·无量纲函数Φ(σ_(yf)/E_s,n_f,E_f/E_s) 确定 | 第49-51页 |
| ·无量纲函数Ψ(σ_(yf)/E_s,n_f,E_f/E_s) 确定 | 第51-52页 |
| ·基于纳米压痕实验的氮化钛薄膜屈服强度σ_(yf) 的确定 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 薄膜厚度对膜/基组合应力分布的影响 | 第56-75页 |
| ·浅压痕时，薄膜厚度对膜/基组合等效应力分布的影响 | 第56-61页 |
| ·深压痕时，薄膜厚度对膜/基组合等效应力分布的影响 | 第61-71页 |
| ·薄膜厚度对膜/基组合切应力的影响 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第6章 压痕过程的三维有限元模拟 | 第75-83页 |
| ·计算模型的建立 | 第75-76页 |
| ·有限元模拟步骤 | 第76-77页 |
| ·结果分析 | 第77-82页 |
| ·等效应力分析 | 第77-80页 |
| ·等效应变分析 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第7章 结论与展望 | 第83-85页 |
| ·结论 | 第83页 |
| ·展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第89页 |
