光学元件表面疵病散射法检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·光学元件表面疵病介绍 | 第10页 |
| ·光学元件表面疵病评价标准 | 第10-12页 |
| ·国内表面疵病标准 | 第11页 |
| ·国外表面疵病标准 | 第11-12页 |
| ·光散射技术介绍 | 第12-15页 |
| ·光散射技术的研究发展 | 第12-13页 |
| ·光散射技术的应用 | 第13-15页 |
| ·表面疵病检技术国内外研究现状 | 第15-16页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 散射法检测原理 | 第18-23页 |
| ·光散射的分类 | 第18-19页 |
| ·光散射公式 | 第18页 |
| ·反射、折射和散射 | 第18页 |
| ·光散射的分类 | 第18-19页 |
| ·光学表面散射源 | 第19-20页 |
| ·表面疵病散射光学模型 | 第20-21页 |
| ·检测原理 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 3 光学元件表面疵病检测系统 | 第23-37页 |
| ·检测系统模型设计 | 第23页 |
| ·光源照明系统 | 第23-27页 |
| ·光源的分类及介绍 | 第23-24页 |
| ·LED光源 | 第24-25页 |
| ·光源的选取 | 第25-27页 |
| ·显微成像系统 | 第27-34页 |
| ·镜头参数计算及选型 | 第27-30页 |
| ·图像传感器 | 第30-34页 |
| ·图像采集系统 | 第34-35页 |
| ·数字图像处理技术 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 疵病图像处理关键技术 | 第37-51页 |
| ·图像处理总流程 | 第37-38页 |
| ·图像预处理 | 第38-49页 |
| ·平滑滤波 | 第38-41页 |
| ·光照不均与校正 | 第41-43页 |
| ·边缘检测 | 第43-48页 |
| ·图像二值化 | 第48-49页 |
| ·特征提取算法 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 检测结果处理与分析 | 第51-69页 |
| ·实验平台的搭建及检测结果 | 第51-52页 |
| ·影响疵病成像质量因素分析 | 第52-54页 |
| ·光源入射角度对疵病散射成像对比度的影响 | 第52-53页 |
| ·光源照射强度对疵病成像的影响 | 第53页 |
| ·球面元件曲率半径对表面疵病检测的影响 | 第53-54页 |
| ·疵病标定 | 第54-58页 |
| ·麻点、划痕散射像的特征值计算 | 第58-61页 |
| ·疵病像宽度与标准值比对 | 第61-65页 |
| ·疵病的分类 | 第65-67页 |
| ·光学元件表面疵病检测系统误差源分析 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·全文总结 | 第69页 |
| ·课题展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
