基于泰伯效应的长焦距测量系统的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·国内外发展现状及趋势 | 第8-11页 |
| ·测量焦距的常规方法 | 第8-10页 |
| ·长焦距的测量方法 | 第10-11页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 2 长焦距测量系统的原理 | 第12-21页 |
| ·泰伯效应 | 第12-15页 |
| ·球面波入射Ronchi光栅的泰伯效应 | 第12-14页 |
| ·平面波入射Ronchi光栅的泰伯效应 | 第14页 |
| ·Talbot距离的极限分析 | 第14-15页 |
| ·莫尔条纹技术 | 第15-18页 |
| ·遮光阴影原理解释 | 第16-18页 |
| ·频谱原理解释 | 第18页 |
| ·基于泰伯效应的长焦距测量原理 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 长焦距测量系统的设计及精度分析 | 第21-38页 |
| ·长焦距测量系统的总体构成 | 第21-22页 |
| ·系统精度分析及几何参数优化 | 第22-30页 |
| ·准直波前畸变 | 第22-25页 |
| ·几何参数分析 | 第25页 |
| ·几何参数优化 | 第25-30页 |
| ·测量系统关键部件的设计 | 第30-36页 |
| ·准直波前发生器 | 第30-34页 |
| ·泰伯干涉系统 | 第34-36页 |
| ·成像采集系统 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 4 长焦距测量系统的装调 | 第38-47页 |
| ·准直波前发生器的装调 | 第38-43页 |
| ·Zygo干涉仪检测准直波前质量 | 第38-39页 |
| ·五棱镜扫描法检测和控制波前质量 | 第39-41页 |
| ·二次测量法 | 第41-43页 |
| ·泰伯干涉系统的装调 | 第43-46页 |
| ·光栅间距 | 第43页 |
| ·栅线夹角的装调 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 实验结果与分析 | 第47-57页 |
| ·测量光路 | 第47-48页 |
| ·应用软件简介 | 第48页 |
| ·实验结果 | 第48-52页 |
| ·检测系统重复性 | 第49-50页 |
| ·检测系统稳定性 | 第50-51页 |
| ·检测系统复现性 | 第51-52页 |
| ·外界环境对长焦距测量的影响 | 第52-56页 |
| ·振动对测量结果的影响 | 第53页 |
| ·空气扰动对测量结果的影响 | 第53页 |
| ·温度扰动对测量结果的影响 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |
