| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 扫描隧道显微镜简介 | 第13-45页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·扫描探针显微镜简介 | 第14-20页 |
| ·扫描探针显微镜的发展历史 | 第14-15页 |
| ·扫描探针显微镜的基本结构 | 第15-16页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第16页 |
| ·原子力显微镜 | 第16-17页 |
| ·磁力显微镜 | 第17-18页 |
| ·扫描近场光学显微镜 | 第18-19页 |
| ·其他类型的扫描探针显微镜 | 第19-20页 |
| ·扫描隧道显微镜的原理与构成 | 第20-26页 |
| ·量子隧穿效应 | 第21页 |
| ·压电效应和压电陶瓷 | 第21-22页 |
| ·探针与扫描头 | 第22-24页 |
| ·前置放大器与反馈系统 | 第24-25页 |
| ·粗步进装置 | 第25页 |
| ·隔音减震系统 | 第25-26页 |
| ·扫描隧道显微镜的工作模式 | 第26-29页 |
| ·等高模式 | 第27页 |
| ·恒流模式 | 第27-28页 |
| ·扫描隧道谱 | 第28页 |
| ·功函数成像模式 | 第28-29页 |
| ·扫描隧道显微镜的核心构件——压电马达 | 第29-34页 |
| ·性能要求 | 第29-30页 |
| ·惯性压电马达 | 第30-32页 |
| ·尺蠖压电马达 | 第32-33页 |
| ·潘式压电马达 | 第33-34页 |
| ·扫描隧道显微镜的应用与发展 | 第34-36页 |
| ·低温超高真空STM | 第34-35页 |
| ·电化学和生物溶液STM | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-45页 |
| 第二章 探针制作 | 第45-55页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·钨探针的制作 | 第45-49页 |
| ·制作原理 | 第45-46页 |
| ·制作方法 | 第46-48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-49页 |
| ·铂铱合金探针的制作 | 第49-52页 |
| ·制作原理 | 第49-50页 |
| ·制作方法 | 第50-51页 |
| ·实验结果与讨论 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第三章 壁虎压电马达的研制与改进 | 第55-85页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·壁虎压电马达的研制 | 第55-67页 |
| ·壁虎压电马达原理 | 第55-57页 |
| ·基本结构设计 | 第57-59页 |
| ·组装与调试 | 第59-63页 |
| ·性能测试 | 第63-65页 |
| ·壁虎压电马达应用——三维压电马达 | 第65-67页 |
| ·嵌套双管式壁虎压电马达 | 第67-72页 |
| ·基本结构设计 | 第67-69页 |
| ·组装与调试 | 第69-70页 |
| ·性能测试 | 第70-72页 |
| ·高刚性壁虎压电马达 | 第72-82页 |
| ·研制背景 | 第72-73页 |
| ·基本结构设计 | 第73-75页 |
| ·组装与调试 | 第75-78页 |
| ·高刚性壁虎压电马达同熊猫压电马达的性能测试与对比 | 第78-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 第四章 高稳定扫描隧道显微镜的研制 | 第85-107页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·应用壁虎压电马达的扫描隧道显微镜研制 | 第85-90页 |
| ·扫描隧道显微镜镜体结构设计 | 第85-87页 |
| ·控制与扫描成像方法 | 第87-88页 |
| ·测试结果与讨论 | 第88-90页 |
| ·全低电压控制独立微小扫描头型扫描隧道显微镜研制 | 第90-103页 |
| ·研制背景 | 第90页 |
| ·扫描头结构设计 | 第90-94页 |
| ·镜体结构设计 | 第94-95页 |
| ·低压控制扫描成像方法 | 第95-96页 |
| ·性能测试与讨论 | 第96-103页 |
| ·本章小结 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-107页 |
| 第五章 扫描隧道显微镜研制总结与展望 | 第107-109页 |
| ·总结 | 第107-108页 |
| ·后续工作设想 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第111-112页 |