利用磁控溅射制备固体氧化物燃料电池阴极功能层
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-42页 |
| ·YSZ的结构、性质及制备 | 第12-14页 |
| ·ZrO_2的结构和性质 | 第12-13页 |
| ·YSZ的结构和性质 | 第13-14页 |
| ·薄膜技术 | 第14-16页 |
| ·薄膜技术的背景 | 第14页 |
| ·不同的薄膜制备技术 | 第14-16页 |
| ·薄膜生长理论及倾斜沉积技术 | 第16-23页 |
| ·薄膜生长机制 | 第16-17页 |
| ·薄膜生长模型 | 第17-18页 |
| ·倾斜沉积技术 | 第18-19页 |
| ·薄膜生长模拟 | 第19-22页 |
| ·Bruggeman有效介质理论 | 第22-23页 |
| ·固体氧化物燃料电池 | 第23-38页 |
| ·固体氧化物燃料电池简介 | 第23-27页 |
| ·常用的燃料电池材料 | 第27-31页 |
| ·固体氧化物燃料电池的阴极 | 第31-38页 |
| ·浸渍在固体氧化物燃料电池中的应用 | 第38-41页 |
| ·复合电极 | 第38页 |
| ·用浸渍法制备电极 | 第38-41页 |
| ·本论文的研究内容 | 第41-42页 |
| 第2章 YSZ薄膜、单电池的制备及表征 | 第42-46页 |
| ·磁控溅射设备 | 第42-43页 |
| ·YSZ薄膜的制备 | 第43-44页 |
| ·多层膜制备 | 第44页 |
| ·阴极功能层的制备 | 第44-45页 |
| ·阳极片和半电池片的制备 | 第45页 |
| ·薄膜表征 | 第45页 |
| ·薄膜电学性能测试 | 第45-46页 |
| 第3章 沉积角对YSZ薄膜的影响 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·使用载玻片作为基片测量沉积角的影响 | 第46-53页 |
| ·沉积角对沉积速率的影响 | 第47-48页 |
| ·不同沉积角对柱状倾斜角的影响 | 第48页 |
| ·不同沉积角对晶体结构的影响 | 第48-51页 |
| ·不同沉积角对透射光谱的影响 | 第51页 |
| ·不同沉积角对折射率和孔隙率的影响 | 第51-53页 |
| ·使用BK7作为基片测量沉积角对YSZ薄膜的影响 | 第53-57页 |
| ·沉积角对沉积速率的影响 | 第53-54页 |
| ·沉积角对晶体结构的影响 | 第54-55页 |
| ·沉积角对透射光谱的影响 | 第55-56页 |
| ·对折射率和孔隙率的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 YSZ电学性能的测量 | 第58-68页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·多层膜样品的制备 | 第58-59页 |
| ·普通多层膜结构 | 第59页 |
| ·Cr打底多层膜结构 | 第59页 |
| ·薄膜制备 | 第59-60页 |
| ·测试装置 | 第60-61页 |
| ·BK7衬底上YSZ电学性能的测量 | 第61-63页 |
| ·石英衬底上YSZ电学性能的测量 | 第63-66页 |
| ·不同沉积角下YSZ薄膜电学性能的比较 | 第66-67页 |
| ·本章总结 | 第67-68页 |
| 第5章 在阳极片和半电池片上镀YSZ薄膜 | 第68-72页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·薄膜的制备和表征 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第6章 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第82页 |
