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精密激光干涉测距电路系统研究

致谢第1-5页
摘要第5-6页
ABSTRACT第6-11页
第1章 绪论第11-25页
   ·论文研究背景和意义第11-12页
   ·国内外研究发展现状第12-16页
     ·国外研究发展现状第12-15页
     ·国内研究发展现状第15-16页
   ·干涉仪理论第16-22页
     ·光学干涉基础理论第16-19页
     ·干涉测距原理第19-21页
     ·测量控制实现方法第21-22页
   ·发展趋势及需要解决的问题第22-23页
   ·论文研究的主要内容第23-25页
第2章 激光器稳频技术第25-53页
   ·半导体激光器第25-27页
     ·半导体激光器的结构及工作原理第25-26页
     ·半导体激光器的调制特性和温度特性第26-27页
   ·激光稳频技术分析第27-33页
     ·频率变化原因第27-29页
     ·激光器的稳频方法第29-33页
   ·PDH 稳频技术第33-52页
     ·法布里-珀罗光学谐振腔原理介绍第33-39页
     ·PDH 稳频原理第39-43页
     ·仿真与分析第43-52页
   ·本章小结第52-53页
第3章 光路分析及信号探测第53-65页
   ·光路介绍与分析第53-57页
     ·光学器件介绍第53-55页
     ·光路分析第55-57页
   ·信号探测单元设计第57-64页
     ·光电探测器选择第57-60页
     ·信号探测放大电路设计第60-64页
   ·本章小结第64-65页
第4章 信号处理与计数第65-79页
   ·硬件电路设计第65-72页
     ·FPGA 相关电路设计第65-69页
     ·数据传输电路设计第69-70页
     ·A/D 采样电路设计第70-72页
   ·软件处理模块设计第72-78页
     ·串行输出模块设计第72-73页
     ·细分技术模块设计第73-77页
     ·测量臂反射光消失(断光)判断第77-78页
   ·本章小结第78-79页
第5章 实验测试与误差分析第79-85页
   ·测试与分析第79-83页
     ·模拟电路的测试与分析第80-82页
     ·位移精度测量第82-83页
   ·干扰分析第83-84页
   ·本章小结第84-85页
第6章 总结与展望第85-87页
   ·论文研究总结第85-86页
   ·研究展望第86-87页
参考文献第87-91页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第91页

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