| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第11-14页 |
| ·ZnO 材料的研究概况 | 第14-20页 |
| ·ZnO 材料中的本征缺陷 | 第14-16页 |
| ·ZnO p 型掺杂的研究进展 | 第16-20页 |
| ·目前 ZnO 材料研究中存在的问题 | 第20页 |
| ·本论文选题依据和工作安排 | 第20-22页 |
| 第2章 ZnO 薄膜的制备技术及性能表征 | 第22-35页 |
| ·溶胶-凝胶（sol-gel）技术及其原理 | 第22-25页 |
| ·真空和气氛退火设备 | 第25-26页 |
| ·ZnO 薄膜的表征方法 | 第26-35页 |
| ·X-射线衍射(XRD) | 第26-27页 |
| ·吸收光谱 | 第27-29页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)和 X 射线能量谱仪(EDS) | 第29-30页 |
| ·霍尔效应(Hall effect)测量 | 第30-32页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS) | 第32-33页 |
| ·光致发光光谱(PL) | 第33-35页 |
| 第3章 Cu在ZnO中掺杂行为的表征及其对电、光性能的影响规律和机制 | 第35-50页 |
| ·Cu 掺杂 p 型 ZnO 薄膜样品制备 | 第35-37页 |
| ·Cu 掺杂 ZnO 薄膜的结构、成分及 Cu 的化学状态的表征 | 第37-44页 |
| ·Cu 掺杂对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第44-49页 |
| ·Cu 掺杂 ZnO 薄膜的电学性能分析 | 第44-46页 |
| ·Cu 掺杂 ZnO 薄膜的室温吸收分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 退火温度和气氛对 Cu 掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第50-60页 |
| ·Cu 掺杂 ZnO 薄膜样品制备 | 第50-51页 |
| ·Cu 掺杂 ZnO 薄膜的结构表征 | 第51-53页 |
| ·退火温度对 Cu 掺杂 ZnO 薄膜室温吸收的影响 | 第53-55页 |
| ·不同气氛退火对 Cu 掺杂 ZnO 薄膜室温吸收的影响 | 第55-58页 |
| ·退火温度对 Cu 掺杂 ZnO 薄膜室温光致发光的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 全文总结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
