| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·磁电阻效应 | 第10-12页 |
| ·正常磁电阻效应（OMR） | 第10页 |
| ·各向异性磁电阻效应（AMR） | 第10-11页 |
| ·巨磁电阻效应（GMR） | 第11-12页 |
| ·隧道磁电阻效应（TMR） | 第12页 |
| ·各向异性磁电阻的研究意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第14-16页 |
| ·研究目的 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 薄膜的制备与测试 | 第16-29页 |
| ·溅射镀膜 | 第16页 |
| ·磁控溅射 | 第16-21页 |
| ·直流(DC)磁控溅射 | 第17页 |
| ·射频(RF)磁控溅射 | 第17-18页 |
| ·磁控溅射系统介绍 | 第18-21页 |
| ·各向异性磁电阻的测量 | 第21-23页 |
| ·X 射线衍射(XRD)测试 | 第23-24页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第24页 |
| ·薄膜制备 | 第24-26页 |
| ·基片清洗 | 第24-25页 |
| ·装靶 | 第25页 |
| ·确定溅射速率（定标） | 第25-26页 |
| ·镀膜过程 | 第26页 |
| ·实验设计方案 | 第26-29页 |
| 第三章 坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的研究 | 第29-44页 |
| ·缓冲层 NiFeNb 对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·实验 | 第29-30页 |
| ·缓冲层(Ni81Fe19)1-xNbx中 Nb 原子的百分含量 x 对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第30-32页 |
| ·缓冲层厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第32-34页 |
| ·基片温度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第34-36页 |
| ·不同 Ni81Fe19厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第36-37页 |
| ·结论 | 第37-38页 |
| ·ZnO 层对超薄坡莫合金薄膜各向异性磁电阻影响的研究 | 第38-44页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·实验 | 第38-39页 |
| ·氧化层（ZnO）厚度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第39-41页 |
| ·基片温度对插入 ZnO 层的坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 | 第41-43页 |
| ·结论 | 第43-44页 |
| 第四章 总结 | 第44-46页 |
| ·本论文的已完成的工作 | 第44-45页 |
| ·今后工作的建议 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |
