射频激励CO2激光器的流道设计与反射镜变形分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·仿真技术在激光器研发中的应用 | 第9-10页 |
| ·有限元软件在热分析中的应用 | 第10-11页 |
| ·本文主要研究内容与意义 | 第11-13页 |
| 2 电极热平衡分析和温度场分析的有限元法 | 第13-25页 |
| ·电极温度场的理论分析 | 第13-18页 |
| ·电极的热交换机理 | 第18-22页 |
| ·温度场分析的有限元法 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 电极的流道设计 | 第25-41页 |
| ·电极的流道设计方案 | 第25-27页 |
| ·电极的实体建模 | 第27-29页 |
| ·电极温度场分析的前处理 | 第29-30页 |
| ·温度场分析的加载与求解 | 第30-32页 |
| ·后处理与温度场仿真结果分析 | 第32-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 反射镜的热变形分析和温度补偿分析 | 第41-60页 |
| ·热变形理论分析 | 第41-43页 |
| ·热变形分析的有限元法 | 第43-44页 |
| ·反射镜的实体建模 | 第44-46页 |
| ·反射镜热变形分析的前处理 | 第46-47页 |
| ·热变形分析的加载与求解 | 第47-50页 |
| ·后处理与温度补偿分析 | 第50-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 全文总结 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
