| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 符号说明 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·研究的背景和意义 | 第12-14页 |
| ·论文的结构安排 | 第14-15页 |
| ·本论文的创新点 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第二章 基于微纳结构集成光接收器件研究进展 | 第19-42页 |
| ·光子集成技术的发展及其在光通信系统中的应用 | 第19-21页 |
| ·基于微纳结构集成光接收器件研究进展 | 第21-25页 |
| ·亚波长光栅研究进展及应用 | 第25-30页 |
| ·微环谐振器研究进展及应用 | 第30-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-42页 |
| 第三章 具有亚波长光栅结构光探测器理论研究 | 第42-64页 |
| ·亚波长光栅的理论方法概述 | 第42-49页 |
| ·波导近似分析法 | 第42-47页 |
| ·严格耦合波分析法(RCW) | 第47-49页 |
| ·亚波长光栅(SWG)的设计与性能仿真 | 第49-54页 |
| ·一维SOI亚波长光栅(SWG)性能仿真 | 第49-52页 |
| ·SOI二维环形亚波长光栅(SWG)性能仿真 | 第52-53页 |
| ·InP材料亚波长光栅(SWG)性能仿真 | 第53-54页 |
| ·基于亚波长光栅结构谐振腔增强型(RCE)光探测器性能分析 | 第54-56页 |
| ·谐振腔增强型(RCE)光探测器性能分析 | 第54-55页 |
| ·具有一维亚波长光栅结构RCE光探测器 | 第55-56页 |
| ·金属表面等离子体亚波长光栅研究 | 第56-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 第四章 具有亚波长光栅结构的光探测器制备 | 第64-90页 |
| ·纳米加工工艺概述 | 第64页 |
| ·亚波长光栅(SWG)实验制备重要工艺步骤研究 | 第64-72页 |
| ·亚波长光栅制作及实验结果 | 第72-83页 |
| ·具有亚波长光栅结构光探测器制作及实验结果 | 第83-86页 |
| ·具有SOI亚波长光栅反射镜光探测器 | 第83-85页 |
| ·具有SOI亚波长光栅反射镜光探测器实验结果 | 第85-86页 |
| ·小结 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 第五章 具有微环谐振腔结构的波导光探测器研究 | 第90-103页 |
| ·微环谐振腔耦合的原理 | 第90-92页 |
| ·具有微环谐振腔结构的波导光探测器的制备 | 第92-97页 |
| ·微环谐振腔光探测器外延结构生长 | 第93页 |
| ·微环谐振腔波导探测器设计 | 第93-94页 |
| ·微环谐振腔波导探测器实验制备 | 第94-97页 |
| ·具有微环谐振腔结构的波导光探测器测试结果与分析 | 第97-100页 |
| ·实验测试系统平台 | 第97-98页 |
| ·测试结果与分析 | 第98-100页 |
| ·小结 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-103页 |
| 第六章 基于扫描电子显微镜改装的电子束曝光系统 | 第103-121页 |
| ·电子束曝光系统发展 | 第103-104页 |
| ·基于扫描电子显微镜改装的电子束曝光系统 | 第104-114页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第106-108页 |
| ·图形发生器 | 第108-110页 |
| ·电子束束闸 | 第110-111页 |
| ·KJ-2011L型主动消磁系统 | 第111-114页 |
| ·基于扫描电子显微镜改装的电子束曝光系统使用 | 第114-118页 |
| ·小结 | 第118页 |
| 参考文献 | 第118-121页 |
| 第七章 总结 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第124页 |