高g值加速度计及其检测电路的设计
| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-20页 |
| ·硅微加速度计以及国内外的研究状况 | 第6-10页 |
| ·高 g 值加速度计的发展现状 | 第10-16页 |
| ·高g 值加速度计的研究背景 | 第10-11页 |
| ·压阻式高g 值加速度计 | 第11-12页 |
| ·电容式高g 值加速度计 | 第12-15页 |
| ·SOI 型高g 值加速度计 | 第15-16页 |
| ·高 g 值加速度计进行冲击测量时的难题 | 第16页 |
| ·加速度传感器设计时的一般注意事项 | 第16-18页 |
| ·本文的主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 高 g 值加速度计的结构设计 | 第20-33页 |
| ·扭摆式加速度计的数学模型 | 第20-21页 |
| ·扭摆式电容加速度计的性能参数推导 | 第21-24页 |
| ·加速度计固有频率的推导 | 第22-23页 |
| ·加速度计量程和分辨率的推导 | 第23-24页 |
| ·传感器敏感元件的具体尺寸 | 第24-27页 |
| ·硅微加速度计的阻尼特性 | 第27-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 高 g 值加速度计敏感元件的有限元仿真 | 第33-42页 |
| ·ANSYS 有限元软件简介 | 第33-34页 |
| ·加速度计敏感元件的静力分析 | 第34-37页 |
| ·加速度计敏感元件的动力学分析 | 第37-41页 |
| ·敏感元件的模态分析 | 第38页 |
| ·敏感元件的瞬态分析 | 第38-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第四章 扭摆式高 g 值加速度计的制作 | 第42-51页 |
| ·版图设计 | 第42-45页 |
| ·工艺制作流程 | 第45-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第五章 电容式加速度计的检测电路设计 | 第51-61页 |
| ·差分电容检测的基本原理 | 第51-52页 |
| ·高精度差分电容检测电路设计的制约因素 | 第52-54页 |
| ·板级差分电容检测电路的设计 | 第54-60页 |
| ·电路板的制作及测试 | 第60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 总结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
