| 第一章 绪论 | 第1-13页 |
| 第一节 引言 | 第7-8页 |
| 第二节 微型机械的发展 | 第8-10页 |
| 第三节 当前国际国内相关技术的发展概况 | 第10-11页 |
| 第四节 本文的主要目的和主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 微型泵和微型阀的进展 | 第13-23页 |
| 第一节 引言 | 第13页 |
| 第二节 微型阀 | 第13-20页 |
| 第三节 微型泵 | 第20-22页 |
| 第四节 应用与研究课题 | 第22-23页 |
| 第三章 压电材料与压电效应 | 第23-29页 |
| 第一节 压电性和压电方程 | 第23-24页 |
| 第二节 压电材料的几个重要参数 | 第24-25页 |
| 第三节 铁电薄膜材料的选择 | 第25-26页 |
| 第四节 微泵的压电致动装置的微结构设计 | 第26-29页 |
| 第四章 压电复合层薄板的小挠度弯曲变形分析 | 第29-43页 |
| 第一节 压电复合层薄板的机电耦合力学模型 | 第29-31页 |
| 第二节 压电复合层薄板逆压电效应变形分析 | 第31-35页 |
| 第三节 压电复合层薄板中性面位置的确定 | 第35-37页 |
| 第四节 圆形压电复合层薄板逆压电效应变形分析 | 第37-40页 |
| 第五节 圆形压电复合层薄板中性面位置的确定 | 第40-43页 |
| 第五章 压电片的边缘电场分析 | 第43-54页 |
| 第一节 平行板电容器的边缘效应 | 第43-46页 |
| 第二节 逆压电效应产生的等效横向荷载q_E | 第46-54页 |
| 第六章 圆形压电致动式微泵驱动装置结构的静态分析与设计 | 第54-69页 |
| 第一节 圆形压电致动式微泵驱动装置的有限元结构模型 | 第54-59页 |
| 第二节 计算圆形压电复合层薄板的等效横向荷载q_E | 第59-60页 |
| 第三节 圆形压电复合层薄板的静态分析 | 第60-65页 |
| 第四节 圆形压电复合层薄板的结构优化设计 | 第65-69页 |
| 第七章 微泵驱动装置的制造工艺概述 | 第69-73页 |
| 第八章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录 | 第80页 |
| 附录A 电场强度E在压电片边缘处的值 | 第80-81页 |
| 附录B аE/аr在压电片边缘处的值 | 第81-82页 |
| 附录C а~2E/аr~2在压电片边缘处的值 | 第82-83页 |
| 附录D 曲边梯度法 | 第83页 |
