薄膜/基体系统界面裂纹及翘曲问题研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| ·薄膜/基体系统简介 | 第10-11页 |
| ·MEMS结构的实例说明 | 第11-17页 |
| ·薄膜残余应力 | 第17-18页 |
| ·薄膜/基体系统破坏模式 | 第18-21页 |
| ·薄膜/基体系统力学性能研究的问题 | 第21-28页 |
| ·薄膜/基体系统强度理论 | 第21-25页 |
| ·薄膜/基体系统界面裂纹 | 第25-28页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第28-29页 |
| 第2章 弹塑性薄膜界面的基本方程 | 第29-47页 |
| ·弹塑性材料本构方程的建立 | 第29-35页 |
| ·三类双独立参数屈服准则 | 第29-33页 |
| ·用塑性位势构造塑性本构方程 | 第33-35页 |
| ·求解问题的基本方程 | 第35-36页 |
| ·边界处的连续条件 | 第36-37页 |
| ·平面应变条件下求解界面裂纹的基本控制方程 | 第37-41页 |
| ·奇异量级的确定 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 弹塑性薄膜界面的应力场 | 第47-64页 |
| ·数值计算的控制方程和边界条件 | 第47-50页 |
| ·Ⅰ型裂纹问题 | 第50-55页 |
| ·数值计算与结果分析 | 第50-54页 |
| ·Ⅰ型界面裂纹尖端场断裂准则的探索 | 第54-55页 |
| ·Ⅱ型裂纹问题 | 第55-60页 |
| ·数值计算与结果分析 | 第55-59页 |
| ·Ⅱ型界面裂纹尖端场断裂准则的探索 | 第59-60页 |
| ·薄膜开裂准则的探索 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 弹性/刚性膜基系统薄膜翘曲 | 第64-77页 |
| ·弹性力学基本理论 | 第64-69页 |
| ·弹性薄膜大挠度理论的基本假设 | 第64-65页 |
| ·弹性薄膜大挠度理论的基本方程 | 第65-69页 |
| ·均匀宽度条带的翘曲 | 第69-75页 |
| ·脱层生长的驱动力 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-81页 |
| 1.本文的主要结论 | 第77页 |
| 2.今后的展望 | 第77-81页 |
| 参考文献 | 第81-89页 |
| 攻读学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
