光栅平动式光调制器机电特性与测试系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·基于MEMS 的高清显示技术 | 第9-11页 |
| ·MEMS 概念 | 第9-10页 |
| ·高清显示技术 | 第10-11页 |
| ·基于MEMS 的显示器件的国内外现状 | 第11-20页 |
| ·数字微镜DMD | 第11-15页 |
| ·薄膜微镜阵列TMA | 第15-16页 |
| ·光栅光阀GLV | 第16-18页 |
| ·现有技术对比 | 第18-19页 |
| ·GMLM 显示方案 | 第19-20页 |
| ·课题的研究目的、意义及其主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·课题的目的及意义 | 第20-21页 |
| ·课题的研究内容 | 第21页 |
| ·小结 | 第21-23页 |
| 2 GMLM 机电特性分析与仿真 | 第23-41页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·GMLM 机电模型 | 第23-32页 |
| ·机电模型及弹性系数 | 第23-24页 |
| ·模型一 | 第24-26页 |
| ·模型二 | 第26-30页 |
| ·模型对比 | 第30-32页 |
| ·GMLM 的特性参数分析 | 第32-35页 |
| ·静态特性分析 | 第32-33页 |
| ·动态特性分析 | 第33-35页 |
| ·GMLM 的机电特性仿真分析 | 第35-39页 |
| ·CoventorWare 仿真软件简介 | 第35-36页 |
| ·仿真模型的建立 | 第36-37页 |
| ·静态特性仿真 | 第37-38页 |
| ·动态特性仿真 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 3 GMLM 结构参数分析与优化 | 第41-59页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·工作电压分析与优化 | 第41-43页 |
| ·开关速度分析优化 | 第43-45页 |
| ·有效衍射面积及其平整度分析 | 第45-49页 |
| ·残余应力对GMLM 的影响分析与优化 | 第49-56页 |
| ·MEMS 中的残余应力 | 第49-50页 |
| ·残余应力对GMLM 的影响分析 | 第50-54页 |
| ·GMLM 残余应力影响优化 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56-59页 |
| 4 GMLM 驱动与控制测试系统 | 第59-79页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·GMLM 的驱动电路的设计 | 第59-65页 |
| ·扫描驱动原理 | 第59-60页 |
| ·GMLM 内部驱动电路 | 第60-62页 |
| ·GMLM 外围驱动电路 | 第62-65页 |
| ·GMLM 的控制测试系统的总体设计 | 第65-68页 |
| ·SOPC 技术及Quartus II 概述 | 第65-67页 |
| ·GMLM 的控制测试系统总体方案 | 第67-68页 |
| ·GMLM 控制测试系统的硬件设计 | 第68-73页 |
| ·R5232 的硬件与传输原理概述 | 第69-70页 |
| ·FPGA 片内控制处理单元 | 第70-73页 |
| ·GMLM 控制测试系统的软件设计 | 第73-77页 |
| ·WINDOWS 下串口客户端控制程序 | 第73-75页 |
| ·测试应用程序设计 | 第75-77页 |
| ·小结 | 第77-79页 |
| 5 GMLM 显示测试系统 | 第79-105页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·GMLM 的显示测试系统的总体设计 | 第79-82页 |
| ·GMLM 面向高清显示控制系统设计 | 第79-80页 |
| ·GMLM 显示测试系统总体方案 | 第80-82页 |
| ·USB2.0 的传输控制单元设计与仿真 | 第82-90页 |
| ·USB2.0 的硬件与传输原理概述 | 第82-84页 |
| ·USB2.0 的传输控制单元硬件设计 | 第84-85页 |
| ·USB2.0 的传输控制单元软件设计 | 第85-88页 |
| ·USB 控制单元设计与仿真 | 第88-90页 |
| ·数据格式转化电路的设计及仿真 | 第90-93页 |
| ·数据格式转化电路工作原理 | 第90-91页 |
| ·设计与仿真 | 第91-93页 |
| ·灰度调制电路的设计及仿真 | 第93-100页 |
| ·灰度显示原理 | 第93-95页 |
| ·优化灰度显示方案 | 第95-98页 |
| ·设计与仿真 | 第98-100页 |
| ·扫描驱动电路的实现及仿真 | 第100-103页 |
| ·扫描显示原理 | 第100-102页 |
| ·设计与仿真 | 第102-103页 |
| ·小结 | 第103-105页 |
| 6 器件加工与实验 | 第105-127页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·器件加工 | 第105-109页 |
| ·第一次加工的器件 | 第105-106页 |
| ·第二次加工的器件 | 第106-107页 |
| ·第三次加工的器件 | 第107-109页 |
| ·器件相关实验 | 第109-113页 |
| ·工作电压实验 | 第109-111页 |
| ·动态响应实验 | 第111-113页 |
| ·驱动电路实验 | 第113-118页 |
| ·控制测试系统实验 | 第118-121页 |
| ·显示测试系统实验 | 第121-124页 |
| ·小结 | 第124-127页 |
| 7 全文总结与展望 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-137页 |
| 附录 | 第137页 |
