同步相移剪切干涉在线表面精密测量研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·本课题研究的内容 | 第13-14页 |
| 2 系统原理及总体设计 | 第14-24页 |
| ·测量系统工作原理 | 第14-15页 |
| ·剪切干涉原理 | 第15-18页 |
| ·同步相移干涉测量原理 | 第18-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 系统硬件设计 | 第24-30页 |
| ·同步相移剪切干涉光学系统 | 第24-26页 |
| ·干涉图像采集系统 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 系统软件设计 | 第30-47页 |
| ·软件总体结构设计 | 第30-32页 |
| ·图像采集模块 | 第32-34页 |
| ·数据处理模块 | 第34-42页 |
| ·结果显示模块 | 第42-45页 |
| ·系统实验测试 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 系统同步相移抗振特性分析 | 第47-55页 |
| ·抗振特性分析模型 | 第47-48页 |
| ·抗振特性分析 | 第48-51页 |
| ·实验验证 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录Ⅰ 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第61-62页 |
| 附录Ⅱ 同步相移剪切干涉表面在线测量系统实物图 | 第62-63页 |
| 附录Ⅲ 抗振分析实验装置图 | 第63页 |
