| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·MEMS简介 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术在引信中的应用 | 第9-10页 |
| ·典型的双稳态微开关 | 第10-13页 |
| ·磁驱动双稳态开关 | 第10-11页 |
| ·热驱动双稳态开关 | 第11-12页 |
| ·分子基电双稳器件 | 第12-13页 |
| ·电场驱动双稳态开关 | 第13页 |
| ·本文主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 高G值折叠梁式微加速度开关试验结果理论分析 | 第15-36页 |
| ·折叠梁式微加速度开关工作原理 | 第15-16页 |
| ·折叠梁式微加速度开关参数分析 | 第16页 |
| ·流体阻尼 | 第16-22页 |
| ·阻尼类型 | 第16-19页 |
| ·理论计算 | 第19-22页 |
| ·微摩擦 | 第22-28页 |
| ·微摩擦简介 | 第23页 |
| ·摩擦系数的影响因素及其控制 | 第23-25页 |
| ·仿真分析 | 第25-28页 |
| ·折叠梁和锁座对微开关性能的影响 | 第28-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第三章 高G值双稳态微加速度开关结构设计 | 第36-53页 |
| ·双稳态微加速度开关原理 | 第36-37页 |
| ·双稳态微加速度开关结构设计 | 第37-51页 |
| ·双稳态理论推导 | 第37-41页 |
| ·余弦梁设计 | 第41-45页 |
| ·敏感质量块设计 | 第45-47页 |
| ·锁座设计 | 第47-49页 |
| ·粘附现象预防 | 第49-51页 |
| ·双稳态微加速度开关Visual Basic程序设计 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第四章 高G值双稳态微加速度开关版图设计 | 第53-61页 |
| ·关键工艺的选择 | 第53-56页 |
| ·键合 | 第53-55页 |
| ·刻蚀 | 第55-56页 |
| ·双稳态微加速度开关版图设计 | 第56-60页 |
| ·划片道设计 | 第56页 |
| ·掩膜版图设计 | 第56-59页 |
| ·逻辑电路设计 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 高G值双稳态微加速开关仿真 | 第61-74页 |
| ·双稳态微加速开关静力学分析 | 第61-67页 |
| ·余弦梁校核 | 第61-63页 |
| ·锁座位置的确定及强度校核 | 第63-65页 |
| ·微开关的量程和抗高过载能力 | 第65-66页 |
| ·辅助梁的设计 | 第66-67页 |
| ·横向效应分析 | 第67页 |
| ·双稳态微加速开关动力学分析 | 第67-73页 |
| ·微开关模态分析 | 第67-70页 |
| ·微开关谐响应分析 | 第70-71页 |
| ·微开关瞬态动力学分析 | 第71-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 总结 | 第74页 |
| 创新点 | 第74-75页 |
| 展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |