纳米薄膜屈曲三维形貌测量技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 绪论	第9-19页
·物体三维形貌测量的历史发展背景	第9-14页
·三维形貌测量主要方法	第9-10页
·光学测量方法	第10-14页
·纳米尺度薄膜屈曲理论	第14-18页
·力载荷下薄膜屈曲概念	第14-15页
·典型屈曲模式及力学分析	第15-18页
·本论文的主要工作	第18-19页
第二章 调焦评价函数的研究	第19-29页
·调焦评价函数理论	第19-23页
·调焦评价函数的基本种类	第19-21页
·高斯插值理论	第21-23页
·光学系统离焦对于调焦评价函数值的影响	第23-27页
·弥散圆半径和横向放大率与离焦量的表达式	第24-25页
·数字图像处理的模拟实验	第25-27页
·调焦评价函数的类型分析与选取	第27-29页
第三章 微区三维形状测量方法	第29-38页
·光楔步进水平位移方法	第29-34页
·含光楔光路成像原理	第29-31页
·光楔及其机械传动装置	第31-34页
·微机械垂直位移方法	第34-38页
·悬臂梁装置测垂直位移	第34-37页
·千分表测垂直位移	第37-38页
第四章 纳米薄膜屈曲实验及数据分析	第38-65页
·通过标准光栅验证实验算法精度	第38-51页
·标准光栅参数	第38页
·实验步骤	第38-39页
·图像照片分析	第39-41页
·数据分析处理	第41-51页
·薄膜屈曲三维形貌测试实验	第51-57页
·实验加载装置及薄膜基底参数	第51-55页
·实验步骤	第55页
·图像照片分析	第55-57页
·实验数据分析处理	第57-64页
·薄膜屈曲离面高度测量	第57-61页
·薄膜屈曲三维形貌测量	第61-64页
·结论	第64-65页
第五章 实验研究结果及前景展望	第65-67页
·实验研究结果	第65页
·前景展望	第65-67页
参考文献	第67-71页
致谢	第71页