第1章 绪论 | 第1-30页 |
·前言 | 第10页 |
·绿色镀膜玻璃概述 | 第10-13页 |
·绿色镀膜玻璃的种类 | 第13-15页 |
·太阳能热反射镀膜玻璃 | 第13页 |
·低辐射镀膜玻璃 | 第13页 |
·电致变色镀膜玻璃 | 第13-14页 |
·防紫外镀膜玻璃 | 第14-15页 |
·CeO_2-TiO_2研究现状及其应用 | 第15-19页 |
·CeO_2-TiO_2复合氧化物 | 第15页 |
·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作催化剂及催化剂的载体 | 第15-16页 |
·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作电极膜材料 | 第16页 |
·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作氧传感器 | 第16-17页 |
·CeO_2-TiO_2复合氧化物用做化妆品成分 | 第17-18页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜的国内外研究现状 | 第18-19页 |
·二氧化锡透明导电薄膜的研究进展 | 第19-21页 |
·纯SnO_2薄膜(TO) | 第19-20页 |
·掺锑SnO_2薄膜(SnO_2∶Sb) | 第20页 |
·掺氟SnO_2薄膜(SnO_2∶F) | 第20-21页 |
·掺P的SnO_2薄膜(SnO_2∶P) | 第21页 |
·其它掺杂 | 第21页 |
·薄膜的制备方法 | 第21-28页 |
·溶胶凝胶镀膜法 | 第21-23页 |
·真空蒸发镀膜法 | 第23-24页 |
·离子镀膜 | 第24页 |
·化学气相沉积 | 第24-26页 |
·溅射镀膜法 | 第26-27页 |
·在线镀膜技术 | 第27-28页 |
·研究课题的提出与研究的目的 | 第28-30页 |
第2章 薄膜的理论基础 | 第30-41页 |
·薄膜的生长 | 第30-33页 |
·薄膜生长的三种模式 | 第30-31页 |
·三维岛的生长阶段 | 第31-33页 |
·薄膜中的缺陷 | 第33-34页 |
·薄膜晶体结构 | 第34-36页 |
·薄膜的晶体结构分析 | 第34-35页 |
·晶粒尺寸 | 第35页 |
·表面粗糙度 | 第35-36页 |
·薄膜的密度 | 第36页 |
·薄膜的制备原理 | 第36-41页 |
·薄膜的紫外截止原理 | 第36-37页 |
·ATO薄膜的导电机理 | 第37-38页 |
·ATO低辐射玻璃的节能原理 | 第38-41页 |
第3章 实验部分 | 第41-49页 |
·实验目的 | 第41页 |
·靶材制备 | 第41-42页 |
·玻璃基片的清洗 | 第42-43页 |
·溅射设备主要参数 | 第43页 |
·不同条件下CeO_2-TiO_2薄膜的制备 | 第43-45页 |
·不同Ce/Ti摩尔比靶材对应的薄膜的制备 | 第43页 |
·不同氩气氧气流量比下CeO_2-TiO_2薄膜的制备 | 第43-44页 |
·不同基片温度下CeO_2-TiO_2薄膜的制备 | 第44-45页 |
·不同条件下SnO_2∶Sb薄膜的制备 | 第45-46页 |
·不同的溅射时间对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响 | 第45页 |
·不同的Ar气压强对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响 | 第45-46页 |
·不同的O_2气压强对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响 | 第46页 |
·双层复合薄膜的制备 | 第46-47页 |
·CeO_2-TiO_2/SnO_2∶Sb(6%mol)双层薄膜的制备 | 第46页 |
·SnO_2∶Sb(6%mol)/CeO_2-TiO_2双层薄膜的制备 | 第46-47页 |
·薄膜试样的结构和性能表征方法 | 第47-49页 |
·薄膜结构的测定 | 第47页 |
·中红外反射率测试 | 第47页 |
·薄膜表面形貌的测定 | 第47-48页 |
·薄膜成分的测定 | 第48页 |
·光学性能测定 | 第48页 |
·电学性能测试 | 第48-49页 |
第4章 CeO_2-TiO_2薄膜的结构和性能表征 | 第49-64页 |
·不同Ce/Ti摩尔比靶材对应的沉积薄膜结构和性能影响 | 第49-57页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的紫外-可见光透过率分析 | 第49-51页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的XRD分析 | 第51页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的Raman光谱分析 | 第51-52页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的TEM分析 | 第52-54页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的XPS分析 | 第54-56页 |
·CeO_2-TiO_2薄膜试样的SEM分析 | 第56-57页 |
·不同氩气氧气流量比对CeO_2-TiO_2薄膜的性能影响 | 第57-58页 |
·不同基片温度下对CeO_2-TiO_2薄膜紫外截止性能影响 | 第58-59页 |
·不同基片温度和不同Ce/Ti摩尔比对光学带隙性能影响 | 第59-62页 |
·纯CeO_2和纯TiO_2薄膜在不同基片温度下的光学带隙 | 第60-61页 |
·不同Ce/Ti摩尔比对Eg的影响 | 第61-62页 |
·本章小结 | 第62-64页 |
第5章 SnO_2∶Sb薄膜的性能表征 | 第64-67页 |
·不同溅射时间对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响 | 第64页 |
·不同氩气压强对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响 | 第64-65页 |
·不同氧气分压对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响 | 第65-66页 |
·本章小结 | 第66-67页 |
第6章 双层复合薄膜的性能表征 | 第67-74页 |
·镀膜试样的紫外-可见光透过率分析 | 第67-69页 |
·镀膜试样的红外反射光谱分析 | 第69-71页 |
·镀膜试样的XRD分析 | 第71-72页 |
·双层复合薄膜小结 | 第72-74页 |
第7章 结论 | 第74-76页 |
参考文献 | 第76-81页 |
致谢 | 第81-82页 |
读研究生期间发表的论文及授权专利 | 第82页 |