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射频磁控溅射法制备CeO2-TiO2/SnO2:Sb截止紫外线和透明导电双功能薄膜

第1章 绪论第1-30页
   ·前言第10页
   ·绿色镀膜玻璃概述第10-13页
   ·绿色镀膜玻璃的种类第13-15页
     ·太阳能热反射镀膜玻璃第13页
     ·低辐射镀膜玻璃第13页
     ·电致变色镀膜玻璃第13-14页
     ·防紫外镀膜玻璃第14-15页
   ·CeO_2-TiO_2研究现状及其应用第15-19页
     ·CeO_2-TiO_2复合氧化物第15页
     ·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作催化剂及催化剂的载体第15-16页
     ·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作电极膜材料第16页
     ·CeO_2-TiO_2复合氧化物用作氧传感器第16-17页
     ·CeO_2-TiO_2复合氧化物用做化妆品成分第17-18页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜的国内外研究现状第18-19页
   ·二氧化锡透明导电薄膜的研究进展第19-21页
     ·纯SnO_2薄膜(TO)第19-20页
     ·掺锑SnO_2薄膜(SnO_2∶Sb)第20页
     ·掺氟SnO_2薄膜(SnO_2∶F)第20-21页
     ·掺P的SnO_2薄膜(SnO_2∶P)第21页
     ·其它掺杂第21页
   ·薄膜的制备方法第21-28页
     ·溶胶凝胶镀膜法第21-23页
     ·真空蒸发镀膜法第23-24页
     ·离子镀膜第24页
     ·化学气相沉积第24-26页
     ·溅射镀膜法第26-27页
     ·在线镀膜技术第27-28页
   ·研究课题的提出与研究的目的第28-30页
第2章 薄膜的理论基础第30-41页
   ·薄膜的生长第30-33页
     ·薄膜生长的三种模式第30-31页
     ·三维岛的生长阶段第31-33页
   ·薄膜中的缺陷第33-34页
   ·薄膜晶体结构第34-36页
     ·薄膜的晶体结构分析第34-35页
     ·晶粒尺寸第35页
     ·表面粗糙度第35-36页
     ·薄膜的密度第36页
   ·薄膜的制备原理第36-41页
     ·薄膜的紫外截止原理第36-37页
     ·ATO薄膜的导电机理第37-38页
     ·ATO低辐射玻璃的节能原理第38-41页
第3章 实验部分第41-49页
   ·实验目的第41页
   ·靶材制备第41-42页
   ·玻璃基片的清洗第42-43页
   ·溅射设备主要参数第43页
   ·不同条件下CeO_2-TiO_2薄膜的制备第43-45页
     ·不同Ce/Ti摩尔比靶材对应的薄膜的制备第43页
     ·不同氩气氧气流量比下CeO_2-TiO_2薄膜的制备第43-44页
     ·不同基片温度下CeO_2-TiO_2薄膜的制备第44-45页
   ·不同条件下SnO_2∶Sb薄膜的制备第45-46页
     ·不同的溅射时间对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响第45页
     ·不同的Ar气压强对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响第45-46页
     ·不同的O_2气压强对SnO_2∶Sb薄膜性能的影响第46页
   ·双层复合薄膜的制备第46-47页
     ·CeO_2-TiO_2/SnO_2∶Sb(6%mol)双层薄膜的制备第46页
     ·SnO_2∶Sb(6%mol)/CeO_2-TiO_2双层薄膜的制备第46-47页
   ·薄膜试样的结构和性能表征方法第47-49页
     ·薄膜结构的测定第47页
     ·中红外反射率测试第47页
     ·薄膜表面形貌的测定第47-48页
     ·薄膜成分的测定第48页
     ·光学性能测定第48页
     ·电学性能测试第48-49页
第4章 CeO_2-TiO_2薄膜的结构和性能表征第49-64页
   ·不同Ce/Ti摩尔比靶材对应的沉积薄膜结构和性能影响第49-57页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的紫外-可见光透过率分析第49-51页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的XRD分析第51页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的Raman光谱分析第51-52页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的TEM分析第52-54页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的XPS分析第54-56页
     ·CeO_2-TiO_2薄膜试样的SEM分析第56-57页
   ·不同氩气氧气流量比对CeO_2-TiO_2薄膜的性能影响第57-58页
   ·不同基片温度下对CeO_2-TiO_2薄膜紫外截止性能影响第58-59页
   ·不同基片温度和不同Ce/Ti摩尔比对光学带隙性能影响第59-62页
     ·纯CeO_2和纯TiO_2薄膜在不同基片温度下的光学带隙第60-61页
     ·不同Ce/Ti摩尔比对Eg的影响第61-62页
   ·本章小结第62-64页
第5章 SnO_2∶Sb薄膜的性能表征第64-67页
   ·不同溅射时间对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响第64页
   ·不同氩气压强对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响第64-65页
   ·不同氧气分压对SnO_2∶Sb薄膜导电性能的影响第65-66页
   ·本章小结第66-67页
第6章 双层复合薄膜的性能表征第67-74页
   ·镀膜试样的紫外-可见光透过率分析第67-69页
   ·镀膜试样的红外反射光谱分析第69-71页
   ·镀膜试样的XRD分析第71-72页
   ·双层复合薄膜小结第72-74页
第7章 结论第74-76页
参考文献第76-81页
致谢第81-82页
读研究生期间发表的论文及授权专利第82页

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