| 第一章 绪论 | 第1-31页 |
| ·碳纳米管的发现 | 第6-8页 |
| ·碳纳米管的结构特征 | 第8-12页 |
| ·碳纳米管的性能及相关应用 | 第12-16页 |
| ·碳纳米管的制备方法 | 第16-22页 |
| ·碳纳米管的结构表征方法 | 第22-24页 |
| ·碳纳米管的研究现状及展望 | 第24-29页 |
| ·论文开展的背景及思路 | 第29-31页 |
| 第二章 实验原理、方法和测试手段 | 第31-46页 |
| ·催化剂薄膜的制备方法及预处理 | 第31-37页 |
| ·碳纳米管的PECVD 方法制备 | 第37-44页 |
| ·PECVD技术 | 第37-38页 |
| ·碳 碳纳米管制备 | 第38-44页 |
| ·碳纳米管薄膜的表征 | 第44-46页 |
| 第三章 实验结果与讨论 | 第46-74页 |
| ·催化剂及刻蚀条件对碳纳米管生长的影响 | 第46-58页 |
| ·热刻蚀条件下沉积时间对碳纳米管形貌的影响 | 第58-60页 |
| ·沉积温度对碳纳米管形貌的影响 | 第60-63页 |
| ·等离子体种类对碳纳米管生长的影响 | 第63-71页 |
| ·本章小结 | 第71-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-86页 |
| 摘要 | 第86-89页 |
| Abstract | 第89-92页 |
| 致谢 | 第92页 |