| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| §1.1 电介质材料概述 | 第7-9页 |
| §1.2 高介电常数材料及其应用 | 第9-10页 |
| §1.3 铁电材料及其应用 | 第10-13页 |
| §1.4 Ba_xSr_(1-x)TiO_3(BST)材料简介 | 第13-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第二章 高介电薄膜的制备、结构表征和电学测试 | 第19-29页 |
| §2.1 PLD法制备高介电薄膜 | 第19-24页 |
| §2.2 高介电薄膜的电学测试及结构表征 | 第24-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第三章 PLD法制备BST铁电薄膜 | 第29-35页 |
| §3.1 引言 | 第29-30页 |
| §3.2 实验方法 | 第30页 |
| §3.3 实验结果和讨论 | 第30-33页 |
| §3.4 结论 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-35页 |
| 第四章 PLD法制备BST高介电系数薄膜 | 第35-48页 |
| §4.1 引言 | 第35-38页 |
| §4.2 实验方法 | 第38页 |
| §4.3 实验结果和讨论 | 第38-46页 |
| §4.4 结论 | 第46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第五章 总结 | 第48-49页 |
| 附录 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 中文详细摘要 | 第51-53页 |