| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-24页 |
| ·研究目的及研究内容确定 | 第8-11页 |
| ·脉冲激光沉积技术优势 | 第11-12页 |
| ·硅酸锌的结构、性质及研究历史 | 第12-14页 |
| ·掺Mn硅酸锌发光材料的研究进展 | 第14-18页 |
| ·发光薄膜常用制备技术 | 第18-23页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-20页 |
| ·喷雾热解法 | 第20-21页 |
| ·溅射法 | 第21页 |
| ·真空蒸发沉积 | 第21-22页 |
| ·脉冲激光烧蚀法 | 第22-23页 |
| ·本文研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 脉冲激光沉积原理与工艺 | 第24-35页 |
| ·脉冲激光沉积概述 | 第24-32页 |
| ·脉冲激光沉积技术发展历史 | 第24-25页 |
| ·脉冲激光沉积技术基本原理 | 第25-28页 |
| ·目前脉冲激光沉积薄膜技术的最新发展方向 | 第28-29页 |
| ·PLD设备 | 第29-32页 |
| ·掺Mn硅酸锌薄膜的生长工艺 | 第32-33页 |
| ·样品的表征 | 第33-35页 |
| 第三章 热处理温度对掺Mn硅酸锌薄膜的影响 | 第35-42页 |
| ·热处理温度对掺Mn硅酸锌薄膜结晶性能的影响 | 第35-37页 |
| ·热处理温度对掺Mn硅酸锌薄膜键合形态的影响 | 第37-38页 |
| ·掺Mn硅酸锌薄膜发光机理及热处理温度对其影响 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 激光参数对掺Mn硅酸锌薄膜的影响 | 第42-47页 |
| ·激光频率对掺Mn硅酸锌薄膜性质的影响 | 第42-44页 |
| ·激光能量密度对掺Mn硅酸锌薄膜性质的影响 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 衬底温度对掺Mn硅酸锌薄膜的影响 | 第47-53页 |
| ·衬底温度对掺Mn硅酸锌薄膜结晶性能的影响 | 第48页 |
| ·衬底温度对掺Mn硅酸锌薄膜发光性能的影响及其影响机理 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 氧气压强对掺Mn硅酸锌薄膜的影响 | 第53-59页 |
| ·氧气压强对掺Mn硅酸锌薄膜结晶性能的影响 | 第54-55页 |
| ·氧气压强对掺Mn硅酸锌薄膜发光性能的影响及影响其机理 | 第55-57页 |
| ·薄膜衰减时间 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第七章 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-69页 |
| 附录Ⅰ.硕士生学习期间完成的论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |