流体二维振动超光滑表面加工振动场分析与实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·本课题的研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外超光滑表面加工技术的研究现状 | 第10-19页 |
| ·机械抛光 | 第10-13页 |
| ·化学抛光 | 第13-14页 |
| ·特种抛光和复合抛光方法 | 第14-19页 |
| ·本课题的研究概况 | 第19-21页 |
| ·研究意义及研究目标 | 第19-20页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 装置的设计及有限元分析 | 第21-37页 |
| ·二维流体振动物理-化学复合抛光的基本原理 | 第21-22页 |
| ·抛光试验装置的设计 | 第22-28页 |
| ·装置的功能分析 | 第22-23页 |
| ·装置的设计 | 第23-25页 |
| ·振动源与抛光槽的结合方式 | 第25-28页 |
| ·装置的有限元分析 | 第28-35页 |
| ·基本理论 | 第28-30页 |
| ·有限元分析的基本步骤 | 第30页 |
| ·单元类型的选择 | 第30-32页 |
| ·有限元模态分析 | 第32-34页 |
| ·动力学谐响应分析 | 第34-35页 |
| ·初步抛光加工实验 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第三章 振动场的流固耦合分析 | 第37-51页 |
| ·超声波的原理和特性 | 第37-39页 |
| ·流固耦合分析 | 第39-43页 |
| ·流固耦合分析的基本理论 | 第39-41页 |
| ·流固耦合分析的基本步骤 | 第41-42页 |
| ·单元类型的选择 | 第42-43页 |
| ·ANSYS流固耦合分析结果 | 第43-48页 |
| ·双超声抛光槽流体轨迹分析 | 第43-46页 |
| ·机械振动-超声振动方式有限元流固耦合分析 | 第46-48页 |
| ·抛光液中磨料粒子运动轨迹的初步研究 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第四章 流体二维振动超光滑抛光实验研究 | 第51-68页 |
| ·石英玻璃的特点 | 第51页 |
| ·WYKO非接触表面轮廓仪 | 第51-52页 |
| ·流场对工件表面质量的影响 | 第52-56页 |
| ·稳定流场对抛光效果的影响 | 第53-54页 |
| ·非稳定流场对抛光效果的影响 | 第54-55页 |
| ·不同流场对表面质量影响的机理 | 第55-56页 |
| ·石英玻璃抛光实验研究 | 第56-66页 |
| ·区域跟踪检测法抛光实验 | 第56-63页 |
| ·实验结果分析 | 第63-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 独创性说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
