| 第一章 绪论 | 第1-24页 |
| ·选题意义 | 第12-13页 |
| ·软磁铁氧体材料的研究现状和发展趋势 | 第13-15页 |
| ·研究现状 | 第13-14页 |
| ·发展趋势 | 第14-15页 |
| ·软磁铁氧体粉体的制备和表征 | 第15-18页 |
| ·铁氧体粉体的制备技术 | 第15-17页 |
| ·铁氧体粉体的表征 | 第17-18页 |
| ·软磁铁氧体薄膜的制备和表征 | 第18-21页 |
| ·软磁铁氧体薄膜的制备技术 | 第18-21页 |
| ·软磁铁氧体薄膜的表征 | 第21页 |
| ·软磁铁氧体薄膜的应用 | 第21-23页 |
| ·军事器件领域 | 第22页 |
| ·电子产品领域 | 第22页 |
| ·通信器件领域 | 第22-23页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 NiZnCo铁氧体／SiO_2复合粉体的制备 | 第24-32页 |
| ·溶胶—凝胶法粉体制各技术 | 第24-26页 |
| ·溶胶—凝胶制备方法 | 第24-25页 |
| ·溶胶—凝胶法制备过程的影响因素 | 第25-26页 |
| ·NiZnCo铁氧体／SiO_2复合粉体的制备 | 第26-29页 |
| ·实验原材料与设备 | 第26-27页 |
| ·制备工艺流程 | 第27-28页 |
| ·反应温度的影响 | 第28页 |
| ·镍锌钴铁氧体复合粉体的DTA和TGA分析 | 第28-29页 |
| ·粉体的表征 | 第29-31页 |
| ·铁氧体粉体的物相分析 | 第29-30页 |
| ·铁氧体粉体的化学组成 | 第30页 |
| ·铁氧体粉体的SEM和TEM形貌分析 | 第30-31页 |
| ·铁氧体粉体的晶粒粒径 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜 | 第32-42页 |
| ·磁控溅射法原理及特点 | 第32-34页 |
| ·超高真空多功能磁控溅射简介 | 第32页 |
| ·磁控溅射基本原理 | 第32-33页 |
| ·射频磁控溅射的成膜特点 | 第33-34页 |
| ·磁控溅射靶材的制备 | 第34-38页 |
| ·靶材的质量要求 | 第34-35页 |
| ·靶材的制备工艺 | 第35-37页 |
| ·靶材的分析与测试 | 第37-38页 |
| ·磁控溅射制备磁性薄膜复合材料 | 第38-40页 |
| ·基体准备 | 第38页 |
| ·溅射制备工艺的要求 | 第38-39页 |
| ·磁控溅射制备铁氧体薄膜 | 第39-40页 |
| ·薄膜后退火处理 | 第40-41页 |
| ·实验材料及设备 | 第40-41页 |
| ·薄膜后处理工艺 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 磁性薄膜的化学组成及其微结构 | 第42-60页 |
| ·基片材料对磁性薄膜的影响 | 第42-45页 |
| ·不同基片材料对薄膜化学组成的影响 | 第42-43页 |
| ·不同基体材料上薄膜的物相分析 | 第43-44页 |
| ·不同基体材料对薄膜微观形貌的影响 | 第44-45页 |
| ·溅射工艺的优化 | 第45-52页 |
| ·溅射功率对溅射(沉积)速率和薄膜形貌的影响 | 第46-50页 |
| ·基体—靶材间距对溅射(沉积)速率和薄膜形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·后退火处理对薄膜的影响 | 第52-55页 |
| ·后退火处理对薄膜化学组成的影响 | 第52-53页 |
| ·后退火处理前后薄膜的物相分析 | 第53-54页 |
| ·后退火处理对薄膜的微观形貌的影响 | 第54-55页 |
| ·薄膜的晶体结构和成膜机理 | 第55-58页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第55-56页 |
| ·薄膜的成膜机理 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 铁氧体复合薄膜的磁性能与力学性能 | 第60-70页 |
| ·薄膜的磁性能 | 第60-65页 |
| ·铁氧体薄膜的磁滞回线 | 第60-62页 |
| ·饱和磁化强度和矫顽力 | 第62-65页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第65-69页 |
| ·薄膜与基体的界面结合强度(附着力)的测定方法 | 第65-66页 |
| ·不同基体上薄膜—基体间的界面结合强度 | 第66-68页 |
| ·不同膜厚的薄膜—基体间的界面结合强度 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 主要结论 | 第70-72页 |
| 第七章 展望 | 第72-74页 |
| ·NiZnCoFe_2O_4／SiO_2铁氧体复合薄膜的应用前景 | 第72页 |
| ·本课题的后续工作 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表或录用的论文 | 第79页 |
