| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·湿度传感器 | 第9-13页 |
| ·湿度的表示方法 | 第9页 |
| ·测量、控制湿度的重要性 | 第9-10页 |
| ·湿度传感器的性能参数 | 第10-11页 |
| ·湿度传感器的分类和发展 | 第11-13页 |
| ·电阻式与电容式两种结构的湿度传感器的研究 | 第13页 |
| ·纳米湿敏材料 | 第13-16页 |
| ·湿敏材料 | 第13-14页 |
| ·纳米材料 | 第14-15页 |
| ·纳米湿敏材料 | 第15-16页 |
| ·钛酸钡材料的研究现状 | 第16-17页 |
| ·湿敏元件感湿机理的研究现状 | 第17-18页 |
| ·研究介电特性的意义、现状及理论基础 | 第18-20页 |
| 2 纳米钛酸钡湿敏材料的制备及湿敏元件的制作 | 第20-23页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏材料的制备及表征 | 第20页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏材料的掺杂 | 第20-21页 |
| ·电阻式纳米钛酸钡湿敏元件和电容式纳米钛酸钡湿敏元件的制作 | 第21-23页 |
| ·电阻式纳米钛酸钡湿敏元件的制作及老化 | 第21页 |
| ·电容式纳米钛酸钡湿敏元件的制作及老化 | 第21-23页 |
| 3 纳米钛酸钡湿敏元件电学参量的测量 | 第23-25页 |
| ·测量系统 | 第23-24页 |
| ·ZL5型智能LCR测量仪 | 第23页 |
| ·湿度发生装置—湿度瓶 | 第23-24页 |
| ·各种电学参量的测量 | 第24页 |
| ·测量数据的处理 | 第24-25页 |
| 4 纳米钛酸钡湿敏元件的感湿特性及讨论 | 第25-39页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的灵敏度特性 | 第25-32页 |
| ·灵敏度 | 第25-27页 |
| ·频率对灵敏度的影响 | 第27-30页 |
| ·温度对灵敏度的影响 | 第30-32页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的阻抗模值特性 | 第32-35页 |
| ·相对湿度对阻抗模值的影响 | 第32-33页 |
| ·频率对阻抗模值的影响 | 第33-34页 |
| ·温度对阻抗模值的影响 | 第34-35页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的湿滞特性 | 第35-36页 |
| ·纳米钛酸钡湿敏元件的响应恢复时间特性 | 第36-37页 |
| ·不同结构的湿敏元件的特性对比 | 第37-39页 |
| ·电阻 | 第37页 |
| ·电容 | 第37-38页 |
| ·阻抗特性 | 第38页 |
| ·结论 | 第38-39页 |
| 5 纳米钛酸钡湿敏元件的介电特性分析 | 第39-69页 |
| ·复阻抗特性 | 第39-47页 |
| ·电阻式陶瓷衬底纳米钛酸钡湿敏元件的复阻抗曲线图 | 第39-40页 |
| ·电容式纳米钛酸钡湿敏元件的复阻抗曲线图 | 第40-42页 |
| ·理想等效电路及其应用 | 第42-45页 |
| ·温度对复阻抗特性的影响 | 第45-47页 |
| ·介电常数 | 第47-59页 |
| ·相对湿度对介电常数的影响 | 第48-50页 |
| ·介电常数的频率特性 | 第50-53页 |
| ·复介电常数曲线图 | 第53-56页 |
| ·温度对介电常数的影响 | 第56-59页 |
| ·复阻抗、介电常数之间的关系 | 第59-62页 |
| ·串、并联等效电路 | 第59-60页 |
| ·描述串、并联电路的物理量及其相互之间的关系 | 第60-62页 |
| ·介电损耗 | 第62-67页 |
| ·介电损耗的频率特性 | 第63-65页 |
| ·相对湿度对介电损耗的影响 | 第65-66页 |
| ·介电损耗与温度的关系 | 第66-67页 |
| ·感湿机理讨论 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第76页 |