MEMS高g值加速度计设计技术研究
| 第一章 引言 | 第1-13页 |
| ·钻地弹概述 | 第6-7页 |
| ·钻地弹引信 | 第7-9页 |
| ·钻地引信用高g值加速度计 | 第9-11页 |
| ·MEMS技术简介 | 第11页 |
| ·国内外发展状况 | 第11-13页 |
| 第二章 微结构高g值电容式加速度计工作原理 | 第13-31页 |
| ·加速度计的组成及工作原理 | 第13-17页 |
| ·敏感组件 | 第13-15页 |
| ·电容变换器 | 第15-16页 |
| ·信号处理电路 | 第16-17页 |
| ·静电力与静电刚度 | 第17-19页 |
| ·零位偏值 | 第19-20页 |
| ·量程与静电力引起的误差 | 第20-26页 |
| ·动极板的最大理想相对位移 | 第21页 |
| ·静电力对测量的影响 | 第21-26页 |
| ·电容特性 | 第26-28页 |
| ·等效电路 | 第28-29页 |
| ·α-C特性 | 第29-31页 |
| 第三章 算法理论基础 | 第31-48页 |
| ·有限元法 | 第31-35页 |
| ·有限元算法综述 | 第31页 |
| ·位移法基本原理与步骤 | 第31-35页 |
| ·矩阵法基础 | 第35-43页 |
| ·基本概念 | 第35-37页 |
| ·单悬臂梁刚度矩阵 | 第37-39页 |
| ·坐标变换 | 第39-41页 |
| ·总体刚度矩阵 | 第41-43页 |
| ·强度分析理论 | 第43-48页 |
| ·强度理论概述 | 第43页 |
| ·失效与许用应力 | 第43-44页 |
| ·最大拉应力理论(第一强度理论) | 第44-45页 |
| ·最大伸长线应变理论(第二强度理论) | 第45页 |
| ·最大切应力理论(第三强度理论) | 第45-46页 |
| ·畸变能密度理论(第四强度理论) | 第46页 |
| ·强度综合理论 | 第46-48页 |
| 第四章 设计及分析 | 第48-72页 |
| ·结构设计 | 第48-49页 |
| ·结构设计 | 第48页 |
| ·结构参数选择 | 第48-49页 |
| ·矩阵法计算 | 第49-56页 |
| ·MathCAD软件介绍 | 第49-50页 |
| ·总刚度矩阵的求解 | 第50-53页 |
| ·静电刚度与机械刚度 | 第53页 |
| ·交叉耦合分析 | 第53-54页 |
| ·零位偏值 | 第54-55页 |
| ·静电力引起的误差 | 第55-56页 |
| ·有限元分析 | 第56-65页 |
| ·结构有限元法分析 | 第56-57页 |
| ·ANSYS软件 | 第57-58页 |
| ·基本假设及简化处理 | 第58页 |
| ·有限元静态分析 | 第58-63页 |
| ·模态及响应时间 | 第63-65页 |
| ·综合与优化 | 第65-72页 |
| ·性能比较 | 第65页 |
| ·非线性误差 | 第65-72页 |
| 第五章 结束语 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 附录1 加速度计敏感质量块刚度分析 | 第77-80页 |
| 附录2 加速度计工作方向上刚度理论求解 | 第80-81页 |
| 附录3 加速度计结构C-a分析 | 第81-83页 |
| 附录4 加速度计拟合公式求解 | 第83-84页 |
| 附录5 加速度计拟合误差求解 | 第84-85页 |
