| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·课题研究现状 | 第9-12页 |
| ·本文的研究工作 | 第12-14页 |
| 第2章 球面面形绝对检测原理与实验机构 | 第14-37页 |
| ·三位置球面面形绝对检测及相关检测方法的原理 | 第14-18页 |
| ·三位置球面面形绝对检测原理 | 第14-15页 |
| ·两位置球面面形检测原理 | 第15-17页 |
| ·五位置球面面形绝对检测原理 | 第17-18页 |
| ·三位置球面面形绝对检测实验装置 | 第18-20页 |
| ·0度位置、180度位置机构调整误差分析 | 第20-26页 |
| ·离焦误差、倾斜误差分析 | 第21-25页 |
| ·旋转错位误差分析 | 第25-26页 |
| ·猫眼位置调整误差分析 | 第26-35页 |
| ·参考镜离轴对检测结果的影响 | 第27-28页 |
| ·参考镜倾斜对检测结果的影响 | 第28页 |
| ·平板倾斜对检测结果的影响 | 第28-29页 |
| ·参考镜离轴、平板倾斜对检测结果的影响 | 第29-30页 |
| ·参考镜倾斜,平板倾斜对检测结果的影响 | 第30页 |
| ·平板离焦对检测结果的影响 | 第30-31页 |
| ·实验验证 | 第31-35页 |
| ·三位置球面面形绝对检测的实验步骤 | 第35-37页 |
| 第3章 球面面形绝对检测实验方法与结果分析 | 第37-62页 |
| ·波面的数字指标概述 | 第37-38页 |
| ·三位置球面面形绝对检测重复性实验 | 第38-47页 |
| ·三位置球面面形绝对检测与两位置检测检测精度对比实验 | 第47-49页 |
| ·三位置球面面形绝对检测检测精度实验 | 第49-51页 |
| ·有关Zernike 2θ项误差的讨论 | 第51-59页 |
| ·三位置绝对检测无法消除的猫眼位置误差 | 第51-53页 |
| ·理论证明、实验验证参考镜存在误差 | 第53-59页 |
| ·五位置球面面形绝对检测检测精度实验 | 第59-62页 |
| 第4章 球面面形绝对检测误差分析 | 第62-74页 |
| ·实验系统误差分析 | 第62-70页 |
| ·PZT移相误差 | 第63-65页 |
| ·CCD探测器非线性误差 | 第65-66页 |
| ·PZT移相误差和CCD非线性误差综合分析 | 第66-68页 |
| ·激光器光源误差 | 第68-70页 |
| ·环境扰动误差分析 | 第70-74页 |
| ·空气扰动误差分析 | 第70-71页 |
| ·振动误差分析 | 第71-74页 |
| 第5章 总结与展望 | 第74-77页 |
| ·论文总结与创新点 | 第74-76页 |
| ·论文总结 | 第74-75页 |
| ·创新点 | 第75-76页 |
| ·工作展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者简历 | 第81页 |