| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 文献综述 | 第9-26页 |
| 1．1 引言 | 第9页 |
| 1．2 VO_2薄膜的制备方法 | 第9-16页 |
| 1．3 VO_2薄膜典型性质 | 第16-20页 |
| 1．4 二氧化钒的晶体结构 | 第20-22页 |
| 1．5 应用前景 | 第22-23页 |
| 1．6 VO_2薄膜的研究现状 | 第23-24页 |
| 1．7 本论文研究内容与创新 | 第24-25页 |
| 1．8 本章小结 | 第25-26页 |
| 2 二氧化钒制备方案及热力学计算分析 | 第26-32页 |
| 2．1 引言 | 第26页 |
| 2．2 二氧化钒制备方案分析 | 第26页 |
| 2．3 制备二氧化钒反应的热力学计算分析 | 第26-30页 |
| 2．4 各种方案比较及选取 | 第30-31页 |
| 2．5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 二氧化钒薄膜制备及实验过程 | 第32-39页 |
| 3．1 引言 | 第32页 |
| 3．2 无机溶胶—凝胶法制备二氧化钒薄膜过程 | 第32-36页 |
| 3．3 电阻温度特性测定过程 | 第36-38页 |
| 3．4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 二氧化钒薄膜制备的实验研究 | 第39-67页 |
| 4．1 前言 | 第39页 |
| 4．2 初步探索实验研究 | 第39-54页 |
| 4．2．1 V_2O_5水淬成胶实验 | 第39-40页 |
| 4．2．2 V_2O_5胶体热重分析 | 第40-41页 |
| 4．2．3 V_2O_5溶胶旋转涂膜实验 | 第41-44页 |
| 4．2．4 V_2O_5薄膜扫描电镜分析 | 第44-45页 |
| 4．2．5 V_2O_5薄膜干燥晶化实验 | 第45-47页 |
| 4．2．6 V_2O_5薄膜热处理初步实验 | 第47-53页 |
| 4．2．7 X射线衍射分析 | 第53-54页 |
| 4．3 正交实验研究 | 第54-65页 |
| 4．3．1 氢气还原V_2O_5薄膜原理 | 第54-55页 |
| 4．3．2 V_2O_5薄膜普通玻璃衬底H_2还原正交试验 | 第55-58页 |
| 4．3．3 V_2O_5薄膜石英衬底H_2还原正交试验 | 第58-62页 |
| 4．3．4 V_2O_5薄膜石英衬底N_2分解正交试验 | 第62-65页 |
| 4．4 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 二氧化钒薄膜相变性能的研究 | 第67-71页 |
| 5．1 引言 | 第67页 |
| 5．2 VO_2薄膜相变温度研究 | 第67页 |
| 5．3 VO_2薄膜相变滞后温度的研究 | 第67-68页 |
| 5．4 VO_2薄膜相变电阻突变特性的研究 | 第68-69页 |
| 5．5 VO_2薄膜的相变稳定性 | 第69-70页 |
| 5．6 本章小结 | 第70-71页 |
| 6 几种主要二氧化钒薄膜制备技术的比较 | 第71-76页 |
| 6．1 引言 | 第71页 |
| 6．2 几种主要二氧化钒薄膜制备技术的比较 | 第71-73页 |
| 6．3 本文VO_2薄膜与纯VO_2薄膜相变性能差异机理解释 | 第73-74页 |
| 6．4 本章小结 | 第74-76页 |
| 7 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附录 | 第85页 |
