| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·压电微传感器发展现状 | 第9-12页 |
| ·压电陶瓷材料的发展 | 第9-11页 |
| ·基于锆钛酸铅薄膜的压电微传感器 | 第11-12页 |
| ·微悬臂梁阵列并行检测系统 | 第12-17页 |
| ·并行检测系统的发展 | 第14-17页 |
| ·PZT 薄膜压电微传感器阵列 | 第17页 |
| ·本论文的研究意义及构成 | 第17-19页 |
| ·本硕士论文的研究目标和意义 | 第17-18页 |
| ·本硕士论文的构成 | 第18-19页 |
| 第二章 压电薄膜在作为机电转换元件时的尺度效应研究 | 第19-36页 |
| ·超薄PZT 薄膜研究的意思 | 第19-21页 |
| ·压电薄膜微悬臂梁探测灵敏度分析 | 第19页 |
| ·提高探测灵敏度的方法研究 | 第19-21页 |
| ·国内外超薄PZT 薄膜研究进展及研究成果 | 第21-23页 |
| ·超薄PZT 薄膜的研究 | 第23-35页 |
| ·溶胶-凝胶法制备超薄PZT 薄膜的工艺简介 | 第23-24页 |
| ·超薄PZT 薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·针对超薄薄膜的上电极制备及图形化工艺研究 | 第25-30页 |
| ·PZT 薄膜电学性能的测试 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 并行探测SPM 系统信号处理电路设计及系统集成与测试 | 第36-53页 |
| ·直流偏置电路的设计 | 第36-38页 |
| ·多路选择电路的设计 | 第38-41页 |
| ·前置放大电路的优化 | 第41-46页 |
| ·微悬臂梁性能测试 | 第46-51页 |
| ·系统集成实验 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 并行探测SPM 系统成像技术研究 | 第53-76页 |
| ·成像技术研究 | 第53-62页 |
| ·成像原理 | 第53-54页 |
| ·平面成像与三维成像 | 第54-55页 |
| ·灰度图像到伪彩色图像的转换的研究 | 第55-62页 |
| ·软件降噪 | 第62-64页 |
| ·图像拼接 | 第64-75页 |
| ·拼接图像模型的模拟 | 第65-66页 |
| ·图像预处理 | 第66-69页 |
| ·拼接算法的研究 | 第69-71页 |
| ·灰度平衡 | 第71-72页 |
| ·图像的自然缝合 | 第72页 |
| ·拼接实验及相似度计算 | 第72-73页 |
| ·实时拼接的模拟 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76-77页 |
| ·本论文的主要工作及结论 | 第76-77页 |
| ·本论文的创新点 | 第77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 在读硕士期间发表的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |